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光柵根據(jù)測量對(duì)象可分為直線光柵(測量直線位移)和圓光柵(測量角位移),而根據(jù)光柵尺的用途和材質(zhì)可分為玻璃透射光柵和金屬反射光柵。根據(jù)刻度方法及信號(hào)輸出形式可分為式光柵和增量式光柵。
1)直線光柵
直線透射式光柵是在玻璃表面感光材料的涂層上制成等距光柵條紋,如圖4-12所示,相鄰線紋間距d稱為柵距,玻璃透射光柵的特點(diǎn)是:光源可以采用垂直入射,光敏元件可直接接受光信號(hào),因此信號(hào)幅度大,讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)簡單。
式直線光柵是利用光電轉(zhuǎn)換原理直接將運(yùn)動(dòng)部件的位置值以編碼的形式輸出,即每一個(gè)確定位置均有*對(duì)應(yīng)的代碼輸出。式直線光柵尺有兩條刻線軌道—增量軌和軌。
軌用于確定運(yùn)動(dòng)部件位置值信息,對(duì)應(yīng)運(yùn)動(dòng)部件每個(gè)位置有一個(gè)固定碼輸出,軌條紋一般采用復(fù)雜的排列算法,如偽隨機(jī)編碼方式等,以提高數(shù)據(jù)容量和安全性。增量軌條紋為等距條紋,用于信號(hào)細(xì)分,提供更高分辨率的信號(hào)。
目前,式直線光柵尺精度可達(dá)±3 µm/m,分辨率可達(dá)5 nm,廣泛應(yīng)用于各類數(shù)控機(jī)床特別是采用直驅(qū)電機(jī)的高速機(jī)床。
直線反射式光柵是在鋼尺或鍍金鋼帶鏡面上蝕刻出光柵條紋。金屬反射光柵的特點(diǎn)是:標(biāo)尺光柵的線膨脹系數(shù)很容易做到與機(jī)床材料一致;標(biāo)尺光柵的安裝和調(diào)整比較方便;安裝面積較小;易于接長或制成整根的鋼帶長光柵;不易碰碎。目前常用的每毫米條紋數(shù)為40、50、80以上,再經(jīng)過細(xì)分電路,分辨率也可達(dá)到微米級(jí)到納米級(jí)。
2)圓光柵
圓光柵是在玻璃圓盤的外環(huán)端面上,做成光柵條紋,條紋呈輻射狀,相互間夾角(稱為柵距角)相等。根據(jù)不同的使用要求,在圓周上的條紋數(shù)不相同。圓光柵一般有六十進(jìn)制、十進(jìn)制以及二進(jìn)制等多種編碼形式.
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任國強(qiáng)
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