HIWIN上銀RWSE晶圓機器人的操作使用

末端效應器的選擇與安裝

類型選擇：RWSE 晶圓機器人的末端效應器有真空吸取型、夾持型和翻轉型。真空吸取型適用于 2-12 英寸晶圓的移載；

夾持型如 F148 適用于 8 英寸晶圓邊緣夾持，F(xiàn)275 適用于 12 英寸 Frame FC 夾取式；翻轉型可在移載過程中實現(xiàn)晶圓正反面翻轉。

安裝要點：根據(jù)晶圓尺寸和工藝要求選擇合適的末端效應器，安裝時需確保連接牢固，氣管或電線連接正確，避免影響機器人的運動精度和抓取穩(wěn)定性。

掃片傳感器的使用

功能介紹：RW 系列手臂支持掃片功能，選配掃片傳感器（Mapping Sensor）后，可在取放片前檢測晶舟盒內(nèi)晶圓或基板是否有疊片、斜片等狀態(tài)，為機器人的取放動作提供數(shù)據(jù)支持，提高取放片的成功率和安全性。

操作流程：在機器人的參數(shù)設置中啟用掃片傳感器功能，根據(jù)晶舟盒的尺寸和晶圓排列方式進行傳感器的校準和參數(shù)調(diào)整，確保傳感器能夠準確檢測晶圓狀態(tài)。

安全操作注意事項

環(huán)境要求：機器人應在溫度為 + 5℃至 + 40℃，無易燃、腐蝕性氣體和液體，無大量灰塵和振動的環(huán)境中使用。

運行檢查：在啟動機器人前，需檢查電機連接是否正確，冷卻系統(tǒng)和主開關是否正常工作，確保機器人運動范圍內(nèi)無障礙物。運行過程中，如發(fā)現(xiàn)異常氣味、噪音、煙霧、溫度升高等情況，應立即停止機器人運行。

電氣安全：在接通電源前，至少將一根地線連接到所有電氣單元，避免觸電危險。在機器人工作或停止后不久，不要觸摸電機部件，以防燙傷。