HIWIN上銀晶圓裝卸機(jī)Load Port的操作使用

準(zhǔn)備工作

檢查電源和氣源：確保電源供應(yīng)為 DC 24V±3%，電流最大 5A，氣壓在 0.5~0.7MPa，真空度在 - 0.05~-0.07MPa。

連接通訊線：通過 RS232 通訊線將 Load Port 與上位控制器（如 IPC/PC）連接好。

載具放置與識別

搬運(yùn)載具：使用 OHT（軌道自動搬運(yùn)車）或人工將晶圓載具（如 8 英寸 Open Cassette、12 英寸 FOUP/FOSB 或 12 英寸 Metal Carrier 等）搬運(yùn)至 Load Port 的裝載平臺。

載具識別：Load Port 具備載具辨識 Info pad A/B/C/D 感測器，可自動識別載具類型和相關(guān)信息，同時通過載具在席（presence）檢知功能和載具放置（place）檢知功能，確認(rèn)載具是否正確放置。

載具對接與固定

對接操作：Load Port 的對接平臺會自動與載具進(jìn)行對接，對接行程為 70mm，對接位置為 173mm（FDP 至 BOLTS 面），未對接位置為 243mm（FDP 至 BOLTS 面）。

壓固載具：對接完成后，Load Port 的壓固（clamp）功能會啟動，將載具牢固固定，防止在后續(xù)操作中發(fā)生移動。

晶圓檢測

開啟檢測：確認(rèn)載具固定好后，Load Port 的檢測機(jī)構(gòu)會沿豎直方向運(yùn)動，對盒內(nèi)晶圓進(jìn)行掃描檢測，如晶圓凸片（wafer protrusion）檢知功能、玻璃晶圓凸片（glass wafer protrusion）檢知功能等，以確保晶圓的狀態(tài)正常。

晶圓搬運(yùn)

自動化搬運(yùn)：在檢測完成后，由晶圓機(jī)器人或傳片機(jī)械手（WTW）根據(jù)控制系統(tǒng)的指令，從 Load Port 上的載具中取出晶圓，搬運(yùn)至工藝加工區(qū)進(jìn)行處理，完成工藝后再將晶圓搬運(yùn)回載具。

載具解鎖與撤離

解鎖載具：當(dāng)晶圓搬運(yùn)完成后，Load Port 會解除對載具的壓固，即執(zhí)行解鎖操作。

撤離載具：最后使用 OHT 或人工將載具從 Load Port 上搬離，完成一次完整的操作流程。

安全操作注意事項(xiàng)

緊急停止：若在操作過程中發(fā)現(xiàn)異常情況，應(yīng)立即按下 Load Port 上的緊急停止（E-stop）按鈕，停止設(shè)備運(yùn)行，避免發(fā)生安全事故或設(shè)備損壞。

狀態(tài)監(jiān)控：操作人員應(yīng)隨時關(guān)注 Load Port 上的 LED 狀態(tài)指示燈，以及上位控制器上的相關(guān)信息，及時了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和故障報(bào)警等情況。