HIWIN上銀晶圓尋邊器的操作使用

準備工作

電源連接：確保電源供應(yīng)為 DC24V/2A，將電源線正確連接到尋邊器。

氣管連接：連接負壓氣管，確保真空度在 - 50~-70kPa 范圍內(nèi)，以滿足尋邊器的真空需求。

通訊連接：通過 RS232 傳輸線將尋邊器與上位控制器（如 IPC/PC）連接，以便進行數(shù)據(jù)傳輸和控制。

安裝與固定

根據(jù)實際使用需求，將尋邊器安裝在合適的位置，確保安裝牢固，且不會影響其運動和檢測功能。尋邊器兩側(cè)有內(nèi)凹設(shè)計，可方便、穩(wěn)定地抓握與搬運。

參數(shù)設(shè)置

晶圓參數(shù)設(shè)置：根據(jù)待檢測晶圓的直徑（100~300mm）、材質(zhì)（透明、半透明或不透明）等特性，在尋邊器的控制系統(tǒng)中設(shè)置相應(yīng)的參數(shù)。

檢測參數(shù)設(shè)置：設(shè)置檢測速度、檢測精度等參數(shù)。通常，尋邊器可在 4.9 秒內(nèi)完成晶圓尋邊、晶圓中心與角度等補正動作，定位重復(fù)精度可達 ±0.025mm 或 ±0.1mm，可根據(jù)具體工藝要求進行調(diào)整。

尋邊操作

手動尋邊（如有此功能）：可通過手動操作按鈕或控制器，使尋邊器的傳感器接近晶圓，手動確定晶圓的邊緣位置，作為參考點或用于初步校準。

自動尋邊：啟動自動尋邊程序，尋邊器會利用智能光透型激光傳感器自動掃描晶圓的輪廓，檢測晶圓的邊緣位置、中心位置和角度等信息。在檢測過程中，可通過外部的狀態(tài)指示燈實時了解尋邊器的工作狀態(tài)。

數(shù)據(jù)處理與校準

尋邊器完成檢測后，會將檢測到的數(shù)據(jù)傳輸給上位控制器，控制器根據(jù)這些數(shù)據(jù)計算出晶圓的中心位置、角度偏差等信息。

根據(jù)計算結(jié)果，可對晶圓進行校準或調(diào)整，例如通過機器人手臂將晶圓移動到正確的位置，或?qū)罄m(xù)加工設(shè)備的參數(shù)進行調(diào)整，以確保加工的準確性。

緊急情況處理

若在操作過程中出現(xiàn)異常情況，可按下尋邊器或控制系統(tǒng)上的緊急停止按鈕（E-stop），立即停止尋邊器的運行，以避免發(fā)生安全事故或損壞設(shè)備。