HIWIN上銀EFEM220-D13晶圓移載系統(tǒng)的操作使用

準(zhǔn)備工作

電源連接：確保電源為 1Phase, AC200~220V, 50/60Hz, 20A。

氣源連接：連接好氣源，保證氣壓穩(wěn)定，以滿足系統(tǒng)中相關(guān)氣動(dòng)部件的運(yùn)行需求。

通訊設(shè)置：根據(jù)系統(tǒng)要求，設(shè)置好 RS-232 或 Ethernet 通訊參數(shù)，確保 EFEM220-D13 與上位控制器（如 IPC/PC）以及其他相關(guān)設(shè)備之間能夠正常通訊。

模塊檢查：檢查系統(tǒng)各模塊是否正常，如晶圓機(jī)器人、Load Port、尋邊器等，確保安裝牢固。

載具放置與識(shí)別

放置載具：使用合適的搬運(yùn)工具，將晶圓載具（如 Open Cassette 等）放置到 Load Port 上。

載具識(shí)別：Load Port 的相關(guān)傳感器會(huì)自動(dòng)識(shí)別載具類型和信息，同時(shí)確認(rèn)載具是否正確放置。EFEM220-D13 的感測(cè)器會(huì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)載具的狀態(tài)。

晶圓檢測(cè)與校準(zhǔn)

晶圓檢測(cè)：如果系統(tǒng)配置了晶圓尋邊器等檢測(cè)設(shè)備，可啟動(dòng)檢測(cè)程序，對(duì)載具中的晶圓進(jìn)行檢測(cè)，如檢測(cè)晶圓的凸片情況、中心位置和角度等信息。

數(shù)據(jù)校準(zhǔn)：根據(jù)檢測(cè)結(jié)果，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)計(jì)算晶圓的偏差值，并對(duì)晶圓機(jī)器人的取片位置和角度進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保后續(xù)取片的準(zhǔn)確性。

晶圓搬運(yùn)操作

設(shè)置搬運(yùn)路徑：通過 GUI 界面軟件，設(shè)置晶圓的搬運(yùn)路徑和目標(biāo)位置，例如從 Load Port 搬運(yùn)到指定的工藝設(shè)備端口。

啟動(dòng)搬運(yùn)程序：確認(rèn)設(shè)置無誤后，啟動(dòng)晶圓搬運(yùn)程序，晶圓機(jī)器人（型號(hào)為 RWDE-B-Z340-02R185）會(huì)根據(jù)指令從載具中取出晶圓，并按照設(shè)定的路徑搬運(yùn)到目標(biāo)位置，取放距離為 255mm。

晶圓放置：機(jī)器人將晶圓準(zhǔn)確放置到目標(biāo)位置后，會(huì)根據(jù)系統(tǒng)指令釋放晶圓，完成一次搬運(yùn)操作。

系統(tǒng)監(jiān)控與維護(hù)

狀態(tài)監(jiān)控：在整個(gè)操作過程中，操作人員可通過 GUI 界面軟件實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)，包括各模塊的工作狀態(tài)、傳感器的檢測(cè)信息、晶圓的搬運(yùn)進(jìn)度等。

故障處理：若系統(tǒng)出現(xiàn)故障，會(huì)及時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，操作人員應(yīng)根據(jù)報(bào)警提示信息，查找故障原因，并采取相應(yīng)的排除措施。

日常維護(hù)：定期對(duì) EFEM220-D13 進(jìn)行清潔、保養(yǎng)和校準(zhǔn)，以確保系統(tǒng)的性能穩(wěn)定和精度準(zhǔn)確，例如定期檢查直線導(dǎo)軌、滾珠絲杠等關(guān)鍵部件的磨損情況，并及時(shí)進(jìn)行更換或維護(hù)。