優(yōu)點
原子力顯微鏡觀察到的圖像
缺點
和掃描電子顯微鏡(SEM)相比,AFM的缺點在于成像范圍太小,速度慢,受探頭的影響太大。原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope)是繼掃描隧道顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope)之后發(fā)明的一種具有原子級高分辨的新型儀器,可以在大氣和液體環(huán)境下對各種材料和樣品進行納米區(qū)域的物理性質包括形貌進行探測,或者直接進行納米操縱;現(xiàn)已廣泛應用于半導體、納米功能材料、生物、化工、食品、醫(yī)藥研究和科研院所各種納米相關學科的研究實驗等領域中,成為納米科學研究的基本工具。原子力顯微鏡與掃描隧道顯微鏡相比,由于能觀測非導電樣品,因此具有更為廣泛的適用性。當前在科學研究和工業(yè)界廣泛使用的掃描力顯微鏡(Scanning Force Microscope),其基礎就是原子力顯微鏡。
儀器結構:
在原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy,AFM)的系統(tǒng)中,可分成三個部分:力檢測部分、位置檢測部分、反饋系統(tǒng)。
力檢測部分
在原子力顯微鏡(AFM)的系統(tǒng)中,所要檢測的力是原子與原子之間的范德華力。所以在本系統(tǒng)中是使用微小懸臂(cantilever)來檢測原子之間力的變化量。微懸臂通常由一個一般100~500μm長和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微懸臂頂端有一個尖銳針尖,用來檢測樣品-針尖間的相互作用力。這微小懸臂有一定的規(guī)格,例如:長度、寬度、彈性系數以及針尖的形狀,而這些規(guī)格的選擇是依照樣品的特性,以及操作模式的不同,而選擇不同類型的探針。
位置檢測部分
原子力顯微鏡
反饋系統(tǒng)
在原子力顯微鏡(AFM)的系統(tǒng)中,將信號經由激光檢測器取入之后,在反饋系統(tǒng)中會將此信號當作反饋信號,作為內部的調整信號,并驅使通常由壓電陶瓷管制作的掃描器做適當的移動,以保持樣品與針尖保持一定的作用力。
總結
AFM系統(tǒng)使用壓電陶瓷管制作的掃描器控制微小的掃描移動。壓電陶瓷是一種性能奇特的材料,當在壓電陶瓷對稱的兩個端面加上電壓時,壓電陶瓷會按特定的方向伸長或縮短。而伸長或縮短的尺寸與所加的電壓的大小成線性關系。也就是說,可以通過改變電壓來控制壓電陶瓷的微小伸縮。通常把三個分別代表X,Y,Z方向的壓電陶瓷塊組成三角架的形狀,通過控制X,Y方向伸縮達到驅動探針在樣品表面掃描的目的;通過控制Z方向壓電陶瓷的伸縮達到控制探針與樣品之間距離的目的。
原子力顯微鏡(AFM)便是結合以上三個部分來將樣品的表面特性呈現(xiàn)出來的:在原子力顯微鏡(AFM)的系統(tǒng)中,使用微小懸臂(cantilever)來感測針尖與樣品之間的相互作用,這作用力會使微懸臂擺動,再利用激光將光照射在懸臂的末端,當擺動形成時,會使反射光的位置改變而造成偏移量,此時激光檢測器會記錄此偏移量,也會把此時的信號給反饋系統(tǒng),以利于系統(tǒng)做適當的調整,zui后再將樣品的表面特性以影像的方式給呈現(xiàn)出來。
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