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一、總體安裝注意：
1.安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否損壞。
2.打開(kāi)泵高真空端法蘭蓋板，波動(dòng)渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無(wú)異常現(xiàn)象。
3、安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。
4、確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝，特殊情況下做特殊防護(hù)網(wǎng)。
5、確認(rèn)已裝入潤(rùn)滑油。
6、安裝方向：油繩潤(rùn)滑：豎直、水平;油潤(rùn)滑：豎直方向+/-5;潤(rùn)脂油：任意角度
二、油池安裝
1、拆下注油
2、油量控制
3、油池衛(wèi)生、防顆粒。
4、對(duì)好、對(duì)稱上緊螺釘。
5、防止有漏，減少“油黑”
三、進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝
1、泵入口：對(duì)正附件、對(duì)稱擰緊
2、泵出口：防止錯(cuò)位
3、冷卻水：無(wú)漏水
四、電纜安裝
1.對(duì)正槽口插入
2、用螺母擰緊，邊插邊擰
3、檢查到位
五、分子泵啟動(dòng)
1、啟動(dòng)條件：連接無(wú)誤、無(wú)漏、冷卻、潤(rùn)滑、真空度
2、啟動(dòng)時(shí)間
同時(shí)啟動(dòng)—小系統(tǒng)，防前級(jí)泵油上返
延遲啟動(dòng)—系統(tǒng)容積過(guò)大，先啟動(dòng)前級(jí)泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa，啟動(dòng)分子泵。
六、振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)
1、分子泵振動(dòng)極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。
2、沖擊防護(hù)：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐
機(jī)械振動(dòng)（預(yù)抽泵、前級(jí)泵、機(jī)械動(dòng)作等）
氣體振動(dòng)（氣量突變、壓強(qiáng)突變）
意外振動(dòng)（掉入異物，碰撞等）
七：大氣載、熱氣體、突變七載
引起問(wèn)題：1、溫度過(guò)高 2、動(dòng)靜片變形 3、轉(zhuǎn)子上移4、潤(rùn)滑失效5、軸承失效
解決方法：1、加大水冷 2、縮短換油時(shí)間
八、泵不啟動(dòng)
原因有：1、電源故障、可參照電源說(shuō)明書(shū)
2、連接電纜不通，用電表查連接電纜，并檢查和使插座接觸良好。
九、長(zhǎng)時(shí)間啟動(dòng)仍達(dá)不到額定轉(zhuǎn)速或停轉(zhuǎn)
原因：1、系統(tǒng)有漏2、前級(jí)壓強(qiáng)過(guò)高3、轉(zhuǎn)向有誤4、潤(rùn)滑油失效5、軸承損壞
十、大的振動(dòng)和噪聲
原因和解決方法：
1、潤(rùn)滑油污染或潤(rùn)滑油不足
2、共振：應(yīng)改變裝配位置及連接尺寸，并使活動(dòng)件固定或加減振橡膠墊
3、動(dòng)平衡破壞：?jiǎn)为?dú)對(duì)泵進(jìn)行試轉(zhuǎn)，振動(dòng)、噪聲仍很大應(yīng)送回返修。
4、軸承損壞：檢查轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)是否靈活，有無(wú)重滯現(xiàn)象，軸承損壞應(yīng)返修，更換軸承。
十一、真空度低
1、前級(jí)漏氣2、前級(jí)泵太小3、高真空漏4、規(guī)管出氣量大5、前幾真空泵工作不正常
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