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電子行業(yè)超純水國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446。1-1997）
指標(biāo)名稱 | 一級水（EW-1） | 二級水（EW-2） | 三級水（EW-3） | 四級水（EW-4） |
電阻率MΩ.CM(250C) | 18(95%時間)不低于17 | 15(95%時間)不低于13 | 12 | 0.5 |
硅zui大值≤μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
微粒數(shù)zui大值＞1μm | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
細(xì)菌個數(shù)≤個/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
銅zui大值≤μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
鋅zui大值≤μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
鎳zui大值≤μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
鈉zui大值≤μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
鉀zui大值≤μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯zui大值≤μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
硝酸根zui大值≤μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根zui大值≤μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根zui大值≤μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
總有機碳zui大值 ≤μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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