超純水的制取
超純水設(shè)備既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于10~18.3MΩ*cm極限值。是一般純水設(shè)備很難達到的程度,通常采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換(拋光)、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可18.25MΩ*cm
制備工業(yè)超純水的工藝流程大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原?rarr;沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點
工業(yè)用超純水的工藝比較目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來。
現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:
1、*種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少,占地面積少,但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設(shè)備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水,zui環(huán)保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。較目前來看,越來越多的公司選擇了EDI裝置,長遠來年,EDI取代離子交換樹脂是一種必然趨勢。
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