9月10日，在第26屆中國國際光電博覽會隆重舉辦之際，國際光學(xué)科技企業(yè)Evident(奧偉登)以全新中文品牌名稱首次亮相這一行業(yè)盛會，并在展會期間成功舉辦新品發(fā)布會，重磅推出LEXT OLS5500激光共聚焦顯微鏡與WLI白光干涉物鏡系列兩款創(chuàng)新產(chǎn)品。其多技術(shù)集成設(shè)計與針對性解決行業(yè)痛點的性能表現(xiàn)，成為展會焦點。
 

　　為進(jìn)一步挖掘新品在技術(shù)細(xì)節(jié)、精度優(yōu)勢、場景適配等維度的核心價值化工儀器網(wǎng)在發(fā)布會后特別專訪了 Evident 應(yīng)用工程師吳丹霞與高級經(jīng)理馬永堅，圍繞兩款新品的定位、技術(shù)突破及應(yīng)用落地展開深度對話。以下是采訪實錄：
  

 

　　Q：在剛剛結(jié)束的發(fā)布會上，奧偉登發(fā)布了激光共聚焦顯微鏡OLS5500。我們對于這款新產(chǎn)品的一個定位是什么呢?它能夠滿足一些怎么樣的一個應(yīng)用場景呢?
 

　　吳丹霞：此次推出的全新一代激光共聚焦顯微鏡OLS5500是一款面向研發(fā)、質(zhì)量檢測和質(zhì)量控制(QA&QC)等領(lǐng)域的中高端三維輪廓精密測量系統(tǒng)。它集高精度、高穩(wěn)定性和高效率于一體，可以全面覆蓋多種嚴(yán)苛的工業(yè)和科研場景的需求：在電子半導(dǎo)體市場，它可以有效兼顧檢測精度和效率；在材料科學(xué)市場，先進(jìn)的成像技術(shù)和豐富的分析工具可以幫助實現(xiàn)對材料微觀結(jié)構(gòu)的深入解析；在精密制造市場，則可以保障批量檢測中數(shù)據(jù)的可靠性和流程一致性。
 

　　Q：隨著工業(yè)制造水平的逐步提升，用戶對光學(xué)顯微鏡提出了更高的要求。奧偉登本次發(fā)布的這款新產(chǎn)品相較于前代產(chǎn)品實現(xiàn)了什么樣的技術(shù)突破？如何更好地滿足亞微米3D觀察和表面粗糙度測量的精準(zhǔn)度要求？
 

　　吳丹霞：OLS5500相較于上一代產(chǎn)品最核心的突破，在于首次將激光掃描顯微、白光干涉和聚焦變化三種主流光學(xué)成像技術(shù)集成于一體，將設(shè)備的微觀分析能力從OLS5100的微米級別拓寬延伸至覆蓋毫米級到納米級，實現(xiàn)“一臺設(shè)備檢測多種樣品類型”。相較之下，它既可以在保障準(zhǔn)確性的同時實現(xiàn)更高的分析精度，而且對于同個樣品可以無縫實現(xiàn)從宏觀輪廓到納米結(jié)構(gòu)的跨尺度精密分析，并且可以滿足大視場下的亞微米甚至納米級3D 觀察和表面粗糙度測量需求。
 

　　Q：OLS5500目前的精度可以達(dá)到多少？這個精度在同類產(chǎn)品中處于怎樣的技術(shù)水平？在實際應(yīng)用場景過程中，這種高分辨率是如何應(yīng)對工業(yè)環(huán)境當(dāng)中的干擾問題呢？
 

　　吳丹霞：OLS5500的平面分辨率能達(dá)到0.12 微米，垂直分辨率能達(dá)到0.08納米。這個分辨精度，在同類產(chǎn)品中處于第一梯隊。在實際工業(yè)環(huán)境中，振動、溫度波動、電磁干擾等都是高精度測量需要克服的問題。OLS5500采用的是Evident自主研發(fā)的光學(xué)系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備性能的穩(wěn)定和一致，確保出廠設(shè)備的測量噪聲水平達(dá)到最佳；其次OLS5500機(jī)身帶有混合式減震設(shè)計能穩(wěn)定操作環(huán)境；同時在軟件的設(shè)計上智能噪聲判斷功能能自動檢測可靠數(shù)據(jù)，消除環(huán)境噪聲的干擾。這些設(shè)計使得OLS5500即使在復(fù)雜條件下也仍能為用戶提供可靠的高精度數(shù)據(jù)。目前Evident是業(yè)內(nèi)唯一可同時保證激光掃描與白光干涉測量準(zhǔn)確性和重復(fù)性的企業(yè)。
 

　　Q：奧偉登本次發(fā)布的白光干涉物鏡在光學(xué)性能上有著什么樣的突破？在材料、技術(shù)等方面如何提升物鏡干涉條紋對比度？
 

　　馬永堅：此次新發(fā)布的白光干涉物鏡是基于大量客戶需求調(diào)研后進(jìn)行的獨特設(shè)計，重點解決了當(dāng)前白光干涉儀在測量大坡度樣品時的技術(shù)難題。
 

　　首先，該物鏡具備較高的數(shù)值孔徑，最高達(dá)到0.8，能夠更有效地收集來自大坡度光滑樣品表面的反射光，從而顯著提升白光干涉儀在這類樣品上的測量精度。同時，物鏡配備了干涉條紋溫度補(bǔ)償調(diào)節(jié)環(huán)。在環(huán)境溫度發(fā)生波動時，用戶可通過調(diào)節(jié)該環(huán)始終保持最佳的干涉條紋對比度，無需因溫度變化而擔(dān)心測量穩(wěn)定性。此外，我們在調(diào)節(jié)環(huán)上設(shè)置了四個固定螺絲，每隔90度布置一個。這樣用戶在使用過程中可有效避免因設(shè)備振動或調(diào)節(jié)環(huán)自身位移所導(dǎo)致的干涉條紋偏移問題，進(jìn)一步保障測量的重復(fù)性與準(zhǔn)確性。
 

　　除了結(jié)構(gòu)方面的優(yōu)化，每一個出廠物鏡均附有嚴(yán)格的檢測報告，其中包括參考鏡的粗糙度與對比度數(shù)據(jù)。因為參考鏡作為白光干涉物鏡的核心部件，其質(zhì)量直接影響測量的準(zhǔn)確性。同時，我們還提供波前像差校準(zhǔn)報告。此外，該物鏡采用半復(fù)消色差光學(xué)設(shè)計，具有良好的分辨率和色差校正能力。
 

　　Q：這款產(chǎn)品如何滿足晶圓等表面形態(tài)的檢測需求，尤其是在粗糙度與臺階高度測量方面？
 

　　馬永堅：隨著半導(dǎo)體技術(shù)和MEMS器件的廣泛應(yīng)用，具有復(fù)雜坡度結(jié)構(gòu)且需納米級測量的樣品越來越多。針對這方面的需求，我們調(diào)研了眾多客戶實際案例，將產(chǎn)品設(shè)計重點放在高數(shù)值孔徑上，使其能夠?qū)崿F(xiàn)對高陡坡樣品的納米級三維形貌測量。這正是當(dāng)前行業(yè)的一大痛點，也是我們產(chǎn)品的核心優(yōu)勢。
 

　　Q：與傳統(tǒng)的干涉物鏡相比，這款產(chǎn)品在測量速度、環(huán)境適應(yīng)性與智能化操作方面是否具備差異化優(yōu)勢？
 

　　馬永堅：是的。例如，我們20倍物鏡的數(shù)值孔徑為0.65，10倍物鏡更是達(dá)到了0.8。相比之下，傳統(tǒng)物鏡通常需達(dá)到50倍放大倍率才能實現(xiàn)與我們20倍物鏡相當(dāng)?shù)臄?shù)值孔徑。高數(shù)值孔徑帶來最直接的優(yōu)勢是檢測通量的大幅提升。我們的20倍物鏡視場面積可達(dá)傳統(tǒng)50倍物鏡的6倍。在進(jìn)行大區(qū)域掃描或圖像拼接時，可顯著減少拼接次數(shù)，從而提高檢測效率和整體測量通量。
 

　　Q：這款產(chǎn)品的最終定位是什么？它適用于哪些應(yīng)用場景？
 

　　馬永堅：這款白光干涉物鏡主要應(yīng)用于基于白光干涉測量技術(shù)的光學(xué)輪廓儀。無論是用于研究室、實驗室的臺式光學(xué)輪廓儀，還是集成于在線檢測設(shè)備中，只要設(shè)備使用了白光干涉檢測技術(shù)，均可適配這款物鏡。它適用于需要高精度表面形貌測量的多種工業(yè)與科研場景。