ELIONIX自1975年創(chuàng)立以來，一直以制作對科學技術(shù)進步做出貢獻的裝置為目標，向世界送出了技術(shù)的研究開發(fā)用裝置。1997年，電子束描繪裝置開發(fā)出了能描繪當時高規(guī)格為1/5的線寬10nm的高精細電子束描繪裝置，之后也相繼開發(fā)了世界高性能的裝置。以兩個CS“挑戰(zhàn)與速度”“客戶滿意度”為基本理念，一直在進行領(lǐng)頭于其他公司的裝置開發(fā)。研究開發(fā)用裝置也被日本國內(nèi)及世界的大學·公共機關(guān)等導入，受到著高水平的評價，不過，今后也致力于從研究開發(fā)面向事業(yè)化的生產(chǎn)用裝置的開發(fā)·銷售。我們今后也將作為世界各地的各位解決課題的合作伙伴，以提供高性能的裝置、滿足*的企業(yè)為目標。