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這款線性位移平臺是大負(fù)載線性直驅(qū)位移臺,采用光學(xué)編碼器,具有的載重能力強,平移精度高,重復(fù)精度高和摩擦低的特點。
線性位移平臺采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級分辨率。
線性位移平臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及*良的長周期運動,導(dǎo)軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
線性位移平臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺。
線性位移平臺可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板。
線性位移平臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現(xiàn)高精度平移定位。
圖1：線性位移平臺實物圖
線性位移平臺特點
超精密位移運動能力
直接驅(qū)動無反沖backlash系統(tǒng)
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運載系統(tǒng)
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
XY二維位移臺的正交性高達(dá)<=5arcsec
非常適合光學(xué)延遲線應(yīng)用
線性位移平臺規(guī)格
| ?行程范圍 | 300mm |
| ?編碼器類型 | 光學(xué)編碼器 |
| ?編碼器型號 | LEn1 |
| ?編碼器分辨率 | 25nm~5um任意(典型值25nm,50nm,100nm,200nm) |
| ?編碼器接口 | 差分RS422 |
| ?放大系數(shù) | 4-200任選 |
| ?編碼器光柵周期 | 20um |
| 參考標(biāo)記 (Index) | Yes |
| 絕對精度2) | |
| ??標(biāo)定前 | ±10µm |
| ??標(biāo)定后 | ±1µm |
| ?單向重復(fù)精度 | N/A |
| 雙項重復(fù)精度（peak-peak)2) | ±0.5µm |
| 雙項重復(fù)精度(RMS) 2) | ±0.24µm |
| ?Pitch 3) | ±30 / ±6.20 µrad/arcsec |
| ?Yaw 3) | ±30 / ±6.20 µrad / arcsec |
| ?Roll | N/A |
| ?***大速度 (負(fù)載4Kg) 4) | <2000mm/s |
| ?***大加速度 ((負(fù)載4kg) 5) | <20000mm/s^2 |
| 安全限位開關(guān) (Safety) | Optical (Optrons) |
| 安全限位開關(guān)極性 | Pushed is closed |
| ?限位開關(guān)電壓 | 5…24V |
| 負(fù)載導(dǎo)向信息 | |
| 類型 | 線性電機(jī)平移臺 |
| 電機(jī)類型 | LM3 |
| 電機(jī)設(shè)計類型 | 無鐵BLDC Motors |
| ***大Bus Voltage | >300VDC |
| ***大負(fù)載 (中心放置) 6) | |
| ??水平 | 50kg |
| ?運動質(zhì)量 7) | 2.6kg |
| ?導(dǎo)向系統(tǒng) | 循環(huán)直線軌道和載物滑塊單元 |
| 材料和外殼信息 | |
| ?外部材料 | 鋁合金 |
| ?外殼處理 | 黑色陽極氧化 |
| ?環(huán)境壓力 | 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 | |
| ?推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅(qū)動器? 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| ?推薦電源 9) | Request Standa support |
| ?推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| ?線纜長度 | 2m |
| ?差分輸出 10) | On request |
| 配件 | |
| ?底板 | 不需要 |
| ?XY二維平移臺系統(tǒng)搭建 | 直接搭建,不需要安裝適配板 |
| ?Z軸豎直平移臺搭建 | 不可以 |
| 外形尺寸 | |
| ?移動臺尺寸 (W x L) | 170 x 170mm |
| ?外形尺寸 (W x L x H) | 220 x 553 x 70mm |
| ?公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| ?XY二維平移臺正交性 11) | 24/5 µrad/arcsec |
| ?防護(hù)處理 13) | 基礎(chǔ)防護(hù) |
| ?RoHS | 滿足 |
| ?重量 | 13.5kg |
1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)絕對精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) ***大速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)***大加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負(fù)載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能**的XY二維電動位移臺系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境。
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