2025-02-08
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MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結構、高精度比例閥和運放電路等部件組成。
流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產(chǎn)生的溫度場變化來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D化為電信號并經(jīng)過電路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量外標法和溫壓補償?shù)玫綔蚀_的真實氣體流量值。
氣體實際流量值與流量設定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與流量設定值相等，實現(xiàn)氣體流量的精準控制.
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