2025-02-11
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- 產(chǎn) 地：
- 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
- 所在地區(qū)：
- 江蘇蘇州市
MFC300熱式氣體質(zhì)量流量控制器 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預(yù)熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
TECHNICAL PARAMETERS
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
- 介質(zhì)要求潔凈干燥無腐蝕性氣體
- 氣體種類Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
- 測量和控制范圍0.2%-100%F.S. （1:500）
- 準(zhǔn)確度±0.5%F.S.
- 重復(fù)精度±0.5%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 分辨率0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
- 傳感器響應(yīng)時(shí)間5ms
- 控制響應(yīng)時(shí)間300ms
- 預(yù)熱時(shí)間≤1s
- 閥門常閉式
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