SpecEl-2000-VIS 橢偏儀
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- 公司名稱 杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) SpecEl-2000-VIS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2015/8/13 10:38:12
- 訪問次數(shù) 1260
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橢偏儀
SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測(cè)量基底反射的偏振光,進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。波長(zhǎng)范圍200-900nm。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測(cè)量。
集成的精確測(cè)量系統(tǒng)
SpecEl由一個(gè)集成的光源,一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70°的偏光器構(gòu)成,并配有一個(gè)32位操作系統(tǒng)的PC.該可測(cè)量0.1nm-5um厚的單膜,分辨率0.1nm,測(cè)量時(shí)間5-15秒,并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%。
配置說明
波長(zhǎng)范圍: | 380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
光學(xué)分辨率: | 4.0 nm FWHM |
測(cè)量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角: | 70° |
膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
光點(diǎn)尺寸: | 2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
采樣時(shí)間: | 3-15s (zui?。?/font> |
動(dòng)態(tài)記錄: | 3 seconds |
機(jī)械公差 (height): | +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
膜層數(shù): | 至多32層 |
參考: | 不用 |
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