Orion Series系列 美國野馬真空Orion Series卷繞鍍膜設備

400毫米到2000毫米柔性基片穿越多個沉積區(qū)呈現(xiàn)在一個精密溫度控制鼓。溫度均勻性在大面積柔性基板實現(xiàn)野馬專有鼓技術提供+ / 1度溫度控制。

　　單或雙側碰的柔性基板提供了全面的網(wǎng)絡寬度以及可選的插頁提供襯底和薄膜層保護整個制造過程。

　　風和放松室被孤立在沉積面積允許快速輥變化沒有暴露的過程域到大氣中?！矮C戶座”系列達到的正常運行時間,實現(xiàn)完整的輥變化在不到3個小時。

　　幾個配置可供優(yōu)化數(shù)量的沉積區(qū)和沉積源到一個特定的過程。

　　90英寸的精密溫度控制滾筒直徑

　　●+ / - 1%或1度溫度控制在滾筒表面面積

　　●-100攝氏度到+ 300攝氏度溫度配置

　　●網(wǎng)絡速度選項

　　1 - 5米/分鐘(+ / - X %的速度精度)

　　1.0 - 15米/分鐘(+ / - X %的速度精度)

　　10 - 50米/分鐘(+ / - X %的速度精度)

　　注入沉積區(qū)域差異提供2來源區(qū)每

　　●X沉積區(qū)為正面涂料總計高達X源位置

　　●X沉積區(qū)為背面涂層總計高達X源位置

　　沉積選項

　　●可旋轉的或平面磁控管濺射陰極

　　●標準功率配置- RF、脈沖直流,直流、交流和HIPIMS

　　●每個沉積位置也可以配置為下面的沉積來源

　　●PECVD方法,離子源,XXXXX

　　設施需求

　　●近似系統(tǒng)尺寸,長度,寬度和間隙區(qū)域

　　●冷凍水系統(tǒng)

　　●電力需求依賴于源配置

　　●多個的地面接地連接

　　●潔凈室的兼容性

　　●網(wǎng)絡連接或線路

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