TSV1300 鍍膜機(jī)

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

型號(hào)：TSV1300

我公司生產(chǎn)的自動(dòng)光學(xué)真空鍍膜機(jī)具有石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式,通過(guò)PLC和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制,包括真空系統(tǒng),烘烤系統(tǒng),蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監(jiān)控功能,可實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守的自動(dòng)控制,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的*性和穩(wěn)定性.

應(yīng)用范圍：主要用于光學(xué)膜及電學(xué)膜領(lǐng)域,適用于塑料,陶瓷玻璃晶體等,基體的鍍膜,如:紅外膜,寬帶增透膜,透明導(dǎo)電膜,干涉截止濾光片偏振膜,金屬化合物膜,VCD分光膜,各類激光膜。

基本參數(shù)：

● 極限真空：3×10-4Pa

● 恢復(fù)真空時(shí)間：大氣至4×10-3Pa≤15min

● 采用KT-630型擴(kuò)散泵（22000L/s）兩臺(tái)（帶移相溫度控制），HGL－150型滑閥泵一臺(tái)+ZJP-600羅茨泵一臺(tái)，維持泵2X－30型機(jī)械泵（30L/s）一臺(tái)；配備防湍流裝置

● 真空程序有自動(dòng)和手動(dòng)兩種模式。日本歐姆龍型PLC控制所有泵閥動(dòng)作；高閥、低閥、預(yù)閥，到位信號(hào)送入PLC控制信號(hào)；PLC程序帶故障報(bào)警功能，如氣壓、水流、機(jī)械泵等保護(hù)及報(bào)警；

● 工件轉(zhuǎn)動(dòng)：采用磁流體密封轉(zhuǎn)動(dòng)裝置

● 工件烘烤：桶狀上烘烤,三點(diǎn)控溫,加熱器采用管狀加熱器，配溫控儀

● E型電子槍兩支，槍功率10KW/支；束偏轉(zhuǎn)角270°；陽(yáng)極電壓為-4KV～-10KV連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)壓精度：±0.5%；束流：0－1000mA可調(diào)；具有X、Y方向掃描，掃描波形有三角波、正弦波、矩形波可選擇，并能存儲(chǔ)每一位坩堝的掃描參數(shù)。電子槍主體有屏蔽罩，電子槍輸出功率穩(wěn)定。

● 配備美國(guó)Inficon的MDC360C型或SQC310石英晶體膜厚儀。

● 12英寸的觸摸屏，可編程控制器（PLC）*控制方式及其相關(guān)電氣控制單元對(duì)設(shè)備真空系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、工件轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)等進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制，并能把石英晶控的功能在觸摸屏上進(jìn)行操作。