TSV1200-S 磁控濺射鍍膜機

磁控濺射鍍膜機

產(chǎn)品型號：TSV1200-S

用途：磁控濺射PVD鍍膜，氮化鈦（TiN）、氮碳化鈦（TiCN）、氮化鋯（ZrN）、氮化鉻（CrN）、氮化鋁鈦（TiAIN）、碳化鈦（TiC）等

基材：不銹鋼,鋅合金,塑料

應用：手機外殼，MP3外殼，數(shù)碼相機外殼，各種標牌的裝飾改性加硬鍍膜

顏色：白色，金色， 銀色， 黑色 ， 蘭色等

基本參數(shù)：

● 真空室尺寸：1210mm（直徑）×1200mm（高）；

● 抽氣時間速：大氣到5×10-3Pa≤20min （空載, 冷態(tài),潔凈）；

● zui高烘烤溫度:300℃

● 采用側面對開門方式,便于工件裝卸；

● 2臺φ400mm口徑分子泵、1臺ZJP300型羅茨泵， 2臺2X-70型機械泵抽氣；

● 一套公、自轉工轉機構，采用下驅(qū)動方式的二維平面行星機構；自轉軸20根；

● 所有驅(qū)動引入采用帶水冷套磁流體密封；

● 四對磁控濺射靶平行安裝且成圓周分布，靶材尺寸：910mm×120mm（長×寬）；

● 4路進口質(zhì)量流量計進氣；

● 預濺射小車擋板，控制預濺射工藝；

● 三臺30KW中頻電源及一臺30KW脈沖偏壓電源；

● 控制系統(tǒng)采用觸摸屏上位機（工控機）+下位機（PLC）的控制形式

● 控制系統(tǒng)有手動和自動，全系統(tǒng)具有互保護, 泵閥互鎖。

主要技術參數(shù)和配置：

（一）   真空系統(tǒng)技術指標

1.       極限真空：優(yōu)于2x10^-3Pa；

2.       抽速:大氣到5x10^-3Pa≤30mm（空載、冷態(tài)，潔凈）；

  3.  壓升率：小于0.5Pa/hr.

 （二） 真空室和真空系統(tǒng)配置

  1.度模式尺寸：1210mm（直徑）x1200mm（高）;

  2.采用側面對開門方式,便于工件裝卸；

  3.外壁通冷卻水，冷卻水管采用半圓管焊接方式，焊縫美觀、平整；

  4. 3個觀察窗口，左右門上各一個，室體正前方一個；

  5. 抽氣室內(nèi)安裝一個旋轉擋氣擋板，旋轉角度范圍0~90°

  6．兩臺φ400mm口徑分子泵；

  7. 1臺ZJP300型羅茨泵，增加氣動旁通閥；

  8. 2臺2x-70型機械泵，一臺為粗抽泵，一臺為分子泵維持泵；

  9. φ400mm口徑高真空氣動閥門2套；

（三）工件架以及驅(qū)動裝置

  1. 一套公、自轉工轉機構，采用下驅(qū)動方式的二維平面行星機構；自轉軸20根；

  2. 轉速0-8圈/分鐘可控可調(diào)；

  3. 驅(qū)動引入采用帶水冷套磁流體密封；

 （四） 真空測量系統(tǒng)

  1. 采用一臺數(shù)字式復合真空計；

  2.一路高真空測量，兩路低真空測量（室體一路，低真空管道一路）

（五）磁控濺射陰極靶

  1. 四對磁控濺射靶（四只外裝靶，四只內(nèi)裝靶，共八只靶）

  2. 磁控濺射靶靶材尺寸：912mm x120mm（長x寬）

 （六）加熱系統(tǒng)

  1. 6只加熱器，沿室壁圓周分布，每只功率3kw，加熱總功率18kw;

  2. 金屬鎧裝熱電偶1只，安裝于室體頂部；

  3. zui高烘烤溫度300℃，能實現(xiàn)溫度自動控制；

  4. 加熱器引入采用金屬密封。

 （七）水冷卻系統(tǒng)

   1，真空室冷卻；

2. 八個靶體冷卻；

 3. 分子泵羅茨泵冷卻；

 4.冷卻水測溫，并報警。

（八）供氣系統(tǒng)

 1. 4路進氣（Ar,N2,O2,C2H2），1個混氣罐；

 2. 4只AE質(zhì)量流量計，4只電磁截止閥，4只手動針閥；

 3. 氣路管道采用外徑1/4”不銹鋼管，配均勻布氣管；

 （九）預濺射擋板

 1. 擋板邊緣折邊，增加強度，避免烘烤熱變形；

 2. 驅(qū)動引入密封采用磁流體密封。

 （十）濺射及偏壓供電系統(tǒng)

 1. 3套30k濺射電源；

 2. 一套PLS-30K型脈沖偏壓電源

（十一）控制單元

1，  控制系統(tǒng)：上位機（工控機）+ 下位機（PLC）控制形式，工控機向PLC發(fā)布命令，PLC去控制真空系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，轉動系統(tǒng)。

2，  真空控制有手動和自動，自動包括四個過程：真空、連續(xù)、取件、停機。

3，  靶控制也有手動和自動，自動主要以時間和功率來控制能保存和調(diào)用工藝參數(shù)。

4，  報警系統(tǒng)有泵、靶斷水報警，系統(tǒng)氣壓低報警等，全系統(tǒng)具有防爆、互保護、泵閥互鎖。

  （十二）設備動力要求

水源：工業(yè)軟水，水壓0.2~0.3MPa，水量`50L/min，進水溫度≤25℃

氣源：氣壓0.6MPa；

電源：三相五線制380V,50Hz，波動范圍±5%：功率≥60kw，zui大150kw

（十三）占地面積3200長X 4200寬X 2100高