VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

輸入功率

• 110V / 220V 通用
• < 2000W (含真空泵)

輸出功率

• 1600VDC
• zui大電流50mA 

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺
 

• 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置 
• 基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C
• PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-10°C 
• zui長濺射時間不可超過5分鐘

控制面板
 

• 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
• 一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度

可選
 

• KF25 真空接口、卡箍，和600mm長不銹鋼波紋管
• 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內(nèi)）
• 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
• 各種高純度金屬靶
• 需要一個帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 （這個我們不提供）

進氣口

 一個精密可調(diào)針閥安裝在進氣口，以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進氣量

靶材

標(biāo)配靶材分別有

• 金，銀，銅 靶材: 
• 尺寸: 金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

       銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

       銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

• 可選靶材點擊鏈接、
  Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

• 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
• 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，終身維護。

質(zhì)量認證

   Certified