OTF-1200X-50S-PE-SL PECVD管式爐（小型滑動(dòng)）

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公司名稱 中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào) OTF-1200X-50S-PE-SL
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2024/10/21 20:08:52
訪問次數(shù) 5367

產(chǎn)品標(biāo)簽

小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)--OTF-1200X-50S-PE-SL

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

　　合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異，質(zhì)量可靠，性價(jià)比高，環(huán)保節(jié)能、返修率低，遠(yuǎn)銷到歐洲，美國(guó)，日本，德國(guó)等許多國(guó)家，廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域，受到客戶*好評(píng)。

　　科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

展開

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動(dòng)球磨機(jī)，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機(jī)，電池制備設(shè)備等

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

技術(shù)參數(shù)

特點(diǎn)	與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn) 可以通過爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫對(duì)于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量可以沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.
開啟式管式爐	輸入電源: 208 – 240V AC,功率： 1.2kW zui高工作溫度1200°C，小于60分鐘爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）連續(xù)工作溫度1100°C 爐管采用高純石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L 可設(shè)置30段升降溫程序，并且?guī)в羞^熱和斷偶保護(hù)功能加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm 單溫區(qū). 恒溫區(qū)2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C 以下圖片顯示加熱區(qū)的溫度曲線圖 (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
等離子體射頻電源	輸出功率: 5 -300W 可調(diào) 穩(wěn)定性± 1% 射頻電源頻率: 13.56 MHz 穩(wěn)定性±0.005% zui大反向功率: 200W 匹配: 自動(dòng) 射頻電源電子輸出端口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體, 陰極噪音: <50 dB. 冷卻: 風(fēng)冷電源 : 208-240VAC, 50/60Hz
真空法蘭和接頭	真空法蘭采用 304不銹鋼制作. 左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口，2個(gè)KF-25快速卸裝卡箍，KF-25直角閥，KF-25真空波紋管和1/4軟管接頭和不銹鋼針閥
真空泵	AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2 Liter /S 出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）真空度: 10-2 torr
產(chǎn)品尺寸和重量	外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H) 凈重: 160kg
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終身維護(hù)，（相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件）
質(zhì)量認(rèn)證	CE Certified