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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實(shí)驗(yàn)爐>OTF-1200X-50-II-PE-M PECVD管式爐（帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)）

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OTF-1200X-50-II-PE-M PECVD管式爐（帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)）

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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科晶集團(tuán)合肥科晶MTI江曉平

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　　合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異，質(zhì)量可靠，性價(jià)比高，環(huán)保節(jié)能、返修率低，遠(yuǎn)銷到歐洲，美國(guó)，日本，德國(guó)等許多國(guó)家，廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域，受到客戶*好評(píng)。
 
　　科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
 

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動(dòng)球磨機(jī)，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機(jī)，電池制備設(shè)備等

OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預(yù)熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵。此款PE-CVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD,方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。

技術(shù)參數(shù)

特點(diǎn)
  • 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞
  • 可以通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果
  • 爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)zui大溫差為400℃
  • 管式爐zui高工作溫度為1100℃
  • 帶有預(yù)熱爐，zui高溫度為1100℃，氣體可通過(guò)此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

雙溫區(qū)滑軌爐
 

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
  • 連續(xù)工作zui高溫度為1100℃
  • 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料）
  • 兩個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)，都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm
  • 總溫區(qū)長(zhǎng)度：400mm
  • 恒溫區(qū)：200mm(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）
  • 兩個(gè)溫區(qū)zui大溫差為：400℃
  • 爐管材料：高純石英管
  • 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
  • 所需電源: 208 – 240V AC單相
  • zui大功率： 4KW

等離子射頻發(fā)生器
 
  • 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
  • 穩(wěn)定性為：+/-1%
  • 射頻電源頻率：13.56 MH, 穩(wěn)定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W 
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體, 陰極
  • 噪音:<50 dB.
  • 冷卻方式：空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  

預(yù)熱爐

 
  • 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm
  • zui高溫度:  1100ºC
  • 可設(shè)置30段升降溫程序
  • 控溫儀表操作視頻
  • 氣體通過(guò)等離子射頻電源前，先通過(guò)預(yù)熱爐
  • 也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

防腐型數(shù)顯真空計(jì)
 
  • 測(cè)量范圍3.8x10-5 至 1125 Torr
  • 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，可獨(dú)立測(cè)量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）
  • 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精確度和重復(fù)性
  • 信號(hào)響應(yīng)時(shí)間較短（≤30ms)
  • 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇蟹栏繉?，所以具有較好的抗腐蝕性

真空泵和閥

 
  • 可以從本公司選購(gòu)以下幾種真空泵
  • 如您想獲得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
  • 配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件
  •           

電動(dòng)滑軌
  • 可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動(dòng)，以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果
  • 滑動(dòng)速度：0-70 mm/s（可調(diào)）

升溫和降溫速率

 
  • RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用在本公司購(gòu)買）
  • 為了獲得zui大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置

加熱速率: 

15°C/sec (RT - 150°C);

10°C/sec (150°C - 250°C);

7°C/sec (250°C - 350°C);

4°C/sec (350°C - 500°C);

3°C/sec (350°C - 550°C);

2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

 

可選

可以選購(gòu)2-4通道質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)（精度1.5%）

  

外形尺寸
  • 爐體: 550 x 380 x 520  mm 
  • 滑軌長(zhǎng)度：1750 mm 
凈重 220 Lbs.

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括爐管、密封圈和加熱元件）
質(zhì)量認(rèn)證

    CE Certified
使用注意事項(xiàng)：
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）


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