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施啟樂(廣州)儀器有限公司

化工儀器網(wǎng)>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>洗瓶機/清洗機> 等離子清洗機- PCE-80

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等離子清洗機- PCE-80

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等離子清洗機

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  合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業(yè)。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發(fā)生產上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關實驗室設備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優(yōu)異,質量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫(yī)學、新能源材料研發(fā)等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經營理念,全力打造材料研發(fā)設備的品牌,竭力為科學進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等



技術參數(shù)

輸入電源

  • AC 220V , 50/60 Hz, 
  • zui大射頻功率: 100 W 
  • 真空泵功率: < 500W
  • 總功率: < 600W

射頻功率

  • 射頻功率可在 0 - 100W之間調節(jié)
  • 射頻:   13,56 MHz
  • 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源,來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗

等離子腔體

  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
  • 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
  • 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

控制面板

  • 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.
  • 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計,可精確地控制進氣流量

真空泵

  • 儀器中包括一臺240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。
  • 極限真空度為50mTorr



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通入氣體

等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子,如N2, Ar, AirH2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質所定)

可選

  • 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
  • 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統(tǒng)

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

質保期

一年質保期,終生維護



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