官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備>NIE-3500 IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕

分享
舉報(bào) 評價(jià)

NIE-3500 IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 NIE-3500
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2015/5/5 17:09:44
  • 訪問次數(shù) 273

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商,提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積、刻蝕、生長、表面處理、清洗、空間仿真儀器測試等類別。

主要的設(shè)備包含有:

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng),Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng);
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng);
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng),DLC類金剛石沉積系統(tǒng);
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng);
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng);
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),DRIE深硅刻蝕系統(tǒng);
ICP電感耦合等離子系統(tǒng);
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng);
ALD原子層沉積系統(tǒng),PA-MOCVD系統(tǒng);
CNT生長系統(tǒng),石墨烯生長系統(tǒng);
PIII等離子注入系統(tǒng),RTP真空退火;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕;
Device Testing Systems設(shè)備測試(空間仿真);
Heated Platens等離子樣品臺等。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設(shè)備廣泛應(yīng)用于:LED領(lǐng)域,MEMS領(lǐng)域,納米技術(shù)領(lǐng)域,光電子學(xué),光伏領(lǐng)域,研究開發(fā)、半導(dǎo)體領(lǐng)域,空間仿真學(xué),新興技術(shù)等。

PECVD,PA-MOCVD,蒸發(fā)系統(tǒng),離子束,ALD,等離子源,濺射,刻蝕,熱真空,兆聲清洗機(jī),雙系統(tǒng)

IBM離子銑/RIBE反應(yīng)離子束刻蝕

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 低成本
  • 離子束:高達(dá)2KV/10mA
  • 離子電流密度100-360uA/cm2
  • 離子束直徑:4”,5”,6”
  • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵
  • 14”不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
  • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(NIE-3500)
  • 自動上下載片(NIE-3500)
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動控制
  • 占地面積30”x30”

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 表面清洗
  • 表面處理
  • 離子銑
  • 帶活性氣體的離子束刻蝕
  • 光柵
  • SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕

該廠商的其他產(chǎn)品



化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費(fèi)注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能