FEMTO 等離子清洗機(jī)

德國Diener electronic成立于1993年，是世界低溫等離子工業(yè)的*，是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。 
用途： 
Diener可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等。可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。 
Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場(chǎng)合： 
半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等等。 
Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn)： 
可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類和處理程序；不會(huì)對(duì)操作人員的身體造成任何傷害；其成本對(duì)于等離子處理方法來說是微不足道的。

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產(chǎn)品型號(hào)：Femto

控制系統(tǒng)：半自動(dòng)型

  PCCE控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows CE)、PC 控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows POS Ready 2009)

體積：1.9~6L

   真空腔室：圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約 Φ 100 mm, 長(zhǎng) 278 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103)、   

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ  95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約 Φ 95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門（大約Φ  95 mm，長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

電極：?jiǎn)螌踊蚨鄬覴IE

樣品支架：選項(xiàng)：（水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源：針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計(jì)：Pirani    Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計(jì)時(shí)器：數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器：40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W   / 

                                        13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W

                                        12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

               所有發(fā)生器均為 0 - * 無級(jí)可調(diào)型

真空泵：KASHIYAMA  

電源：供電電源： 臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位