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特點:
1、晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電
極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,高低溫真空探針臺針座位于腔體外部,
便于操作重新調(diào)整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針
的位置。針座行程 X-Y-Z :25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch),精度
10 micron(有效行程和精度可選);
2、工作臺溫度范圍:-150℃——400℃,顯示精度0.1℃,控溫精度2℃,工作臺溫度均勻
性5℃,常溫到-150℃冷卻時間:1小時40分鐘,常溫到400℃加熱時間:40分鐘;
3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa(配置機械泵);
4、可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測試;
5、選配:顯微鏡、防震桌、方形工作臺、分子泵組、射頻部件等。