MX51工業(yè)檢測(cè)半導(dǎo)體顯微鏡
- 公司名稱 上海西努光學(xué)科技有限公司
- 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/19 13:20:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 1205
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奧林巴斯顯微鏡,奧林巴斯工業(yè)內(nèi)窺鏡,iX高速攝像機(jī),標(biāo)樂(lè)金相制樣設(shè)備,威爾遜硬度計(jì),navitar鏡頭,日立掃描電鏡,加拿大WDI光學(xué)設(shè)備
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
MX51工業(yè)檢測(cè)半導(dǎo)體顯微鏡 詳細(xì)介紹：
考慮了檢查效率的設(shè)計(jì) 高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
 內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄 | MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長(zhǎng)時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。 |
 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 | 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類(lèi)型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。 |
鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系 多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來(lái)的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無(wú)論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
觀察影像實(shí)例
 明視場(chǎng)觀察 |  暗視場(chǎng)觀察 |  微分干涉觀察 |  熒光觀察 |
豐富的產(chǎn)品陣容，可按需選擇
MPLAPON 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 MPLFLN 平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLN 平場(chǎng)消色差透鏡
MPLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)消色差透鏡
SLMPLN 超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差透鏡
LCPLFLN-LCD 液晶長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MX51工業(yè)檢測(cè)半導(dǎo)體顯微鏡軟件方案
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元
由可見(jiàn)光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，備有各種對(duì)應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
 近紅外線觀察單元 |  近紅外線觀察 |
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
 熒光鏡單元 |  熒光觀察 |
透射照明單元
 透射照明單元 | 對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。 |
| 規(guī)格 | |||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正） | ||
| 機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 | |
| 反射/透射 | 反射/透射 | ||
| 照明裝置 | 明暗視場(chǎng)反射照明管（明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光） | ||
| 通用反射照明管（明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光） | |||
| 照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
| 透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||
| 對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |
| 行程 | 32 mm | ||
| 分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||
| zui大樣本高度 | 30 mm | ||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
| 手動(dòng)式 | 明視場(chǎng)5孔 | ||
| 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
| 明視場(chǎng)微分干涉中心輸出6孔 | |||
| 明視場(chǎng)微分干涉7孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
| 載物臺(tái) | 行程 | 6×6英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm （透射照明范圍100×100 mm） | |
| 4×4英寸右下（左下）手柄： 100（X）×105（Y）mm?。ㄍ干湔彰鞣秶?6×96 mm） | |||
| 觀察筒 | 廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
| 正像 | 三目觀察筒 | ||
| 超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
| 正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
| 附件單元 | IR單元/自動(dòng)裝載 | ||
| 外形尺寸 | 430（W）×591（D）×495（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
| 重量 | 26 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
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