MX61L / MX61大尺寸智能型半自動顯微鏡

MX61L / MX61大尺寸智能型半自動顯微鏡詳細介紹：

考慮了檢查效率的設(shè)計 主要操作集中配置在前面板上

前面板 [1] 照明強度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)

在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

傾斜鏡筒示意圖

為了適應(yīng)視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

內(nèi)置離合器的載物臺手柄

對應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。

鮮明圖像和的分辨率為特點的光學系
多種選擇可實現(xiàn)的成像性能

MX61L / MX61大尺寸智能型半自動顯微鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

豐富的產(chǎn)品陣容，可按需選擇
MPLAPON 平場復(fù)消色差透鏡 MPLFLN 平場半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場用平場半復(fù)消色差透鏡 MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場半復(fù)消色差透鏡 LMPLFLN 長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 LMPLFLN-BD 明暗視場用長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 MPLN 平場消色差透鏡 MPLN-BD 明暗視場用平場消色差透鏡
SLMPLN 超長工作距離平場消色差透鏡 LCPLFLN-LCD 液晶長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 軟件方案

實現(xiàn)數(shù)字成像
MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動功能。因此，捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
支持缺陷檢測的多種功能 快速切換物鏡，提高檢查速度

電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)

AS自動調(diào)節(jié)示意圖

每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級），只要切換物鏡就能以zui合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。

幫助實現(xiàn)多種觀察的附件 安全快速的搬運晶圓

自動晶圓搬送機AL110（200 mm 規(guī)格）組合

MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設(shè)計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。

近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

近紅外線觀察單元

粘合襯墊

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。

熒光鏡單元

熒光觀察

透射照明單元

透射照明單元

對應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號兩種型號。