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EMS 650/EMS 650T 大樣品離子濺射鍍膜儀(樣本制備)
- 公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) EMS 650/EMS 650T
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/5/10 17:13:20
- 訪問次數(shù) 1349
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EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀(樣本制備)
又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀(樣本制備),EMS 650大樣品離子濺射鍍膜儀(樣本制備)配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶(用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材);面板式控制,*的人性化設(shè)計(jì);濺射參數(shù)可預(yù)先設(shè)置,包括控制排氣的電磁閥(自動(dòng)控制),可以獲得精確的可重復(fù)的鍍膜厚度;濺射頭互鎖,EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用;EMS 650可控制獨(dú)立的真空泵。下圖示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基礎(chǔ)上加裝了一個(gè)功率為60L/秒的渦輪增壓泵,能夠獲得更高更潔凈的真空。
性能特征:
- 全自動(dòng)控制
- 低能冷卻系統(tǒng)((功率是6W)
- 低電壓濺射(100V,DC;每分鐘溫度升高不到2°C)
- 鍍膜厚度精確(2nm金粒)
- 精確的可重復(fù)性
- 鍍膜厚度20nm或200A(掃描電鏡)
- 微電子控制
- 三個(gè)靶臺(tái)同時(shí)濺射
- 聚碳酸脂安全外殼
儀器參數(shù):
儀器尺寸 | 450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H) |
工作腔室 | 硼硅酸鹽玻璃: 225mm(Dia.) x 125mm(H) |
重量 | 24Kg |
靶臺(tái) | 3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚 |
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) | 155mm Dia. 距離靶臺(tái)40 to 50mm可調(diào) |
真空范圍 | ATM 1x10-2 mbar |
鍍膜電流范圍 | 0-100mA |
鍍膜速率 | 0-20nm/minute |
濺射鍍膜時(shí)間 | 0-4 minutes |
電源 | 230 volts 50Hz (zui大8 amp 包括泵) |
維護(hù) | 氬氣 通常 4 psi |
真空泵(推薦) | 整套真空泵軟管和油氣過濾器135L/Min |
訂購信息:
貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
91020 | EMS 650 Sputter Coater complete with Targets | 臺(tái) |
91020T | EMS 650T Sputter Coater | 臺(tái) |
91025 | Rotary Vacuum Pump | 個(gè) |