PR500/510 等離子灰化機
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 成都領(lǐng)度儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PR500/510
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/6/9 11:00:19
- 訪問次數(shù) 1302
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|
PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
規(guī)格
型號 | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式，桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | ||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O2／CF4） | ||
控制 | 手動 | 觸摸屏自動控制 | |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
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