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真空腔體水氣解吸附組件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/8/28 7:57:34
  • 訪問次數(shù) 1501
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解吸附組件

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,電氣,綜合

真空腔體水氣解吸附組件

真空腔體水氣解吸附組件

Zcuve是近年來國際上較多使用的水蒸氣解吸技術(shù)。*的設(shè)計(jì)可從2.75“擴(kuò)展到8”法蘭尺寸,具有比例較高的紫外線功率因數(shù)和較大的法蘭尺寸。

Zcuve的設(shè)計(jì)目的是在真空室內(nèi)不可能有一個(gè)暴露的紫外線發(fā)射器的情況下,從大型沉積室中解吸水。標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)成的百葉窗可用于防止Zcuve在沉積過程中被涂層。

這一過程在O型環(huán)(氟橡膠)密封真空室(沒有任何其他烘烤方式)上效果好,也適用于較小尺寸的樣品傳輸。


技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

法蘭口徑

Z275

2.75" / 40 CF

Z450

4.5" / 63 CF

Z600

6.0” / 100 CF

Z800

8.0” / 160 CF


An external assembly houses the UV emitter, which is situated just behind 高紫外線透射,超高真空窗。發(fā)射器背面的一面鏡子進(jìn)一步改善了185納米紫外線輻射通過窗戶進(jìn)入真空室的傳輸。Zcuve外殼用惰性氣體進(jìn)行回填,以防止外殼內(nèi)產(chǎn)生臭氧。最后,發(fā)射極引線經(jīng)由mhv高壓連接器連接至控制裝置。

主要特點(diǎn):

利用紫外輻射解吸水蒸氣的優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)生很少的熱量。更少的熱量意味著更少的機(jī)械零件和樣品損壞。另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是,uvc不需要直接的現(xiàn)場線路來解吸水蒸氣。它不能進(jìn)入角落和縫隙,但它可以反射拋光表面(如室壁),每次“反彈”損失50%到70%。

UVB-100
uvb-100使用uvc輻射無需加熱就可以釋放水蒸氣。發(fā)射器伸入真空室。

ZCuVE
零間隙紫外發(fā)射器水蒸氣解吸系統(tǒng)(Zcuve)利用紫外輻射無熱解吸水蒸氣。發(fā)射器位于真空室外面。

注:這些水蒸氣解吸產(chǎn)品設(shè)計(jì)用于高真空系統(tǒng)、大真空、氣室和樣品傳輸。它們的設(shè)計(jì)并不是為了取代超高真空系統(tǒng)中的輻射烘烤方法,而是與特高壓兼容。




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