真空腔體水氣解吸附組件
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/28 7:57:34
- 訪問次數(shù) 1501
聯(lián)系方式:張垚13916855175 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
---|
真空腔體水氣解吸附組件
真空腔體水氣解吸附組件
Zcuve是近年來國際上較多使用的水蒸氣解吸技術(shù)。*的設(shè)計(jì)可從2.75“擴(kuò)展到8”法蘭尺寸,具有比例較高的紫外線功率因數(shù)和較大的法蘭尺寸。
Zcuve的設(shè)計(jì)目的是在真空室內(nèi)不可能有一個(gè)暴露的紫外線發(fā)射器的情況下,從大型沉積室中解吸水。標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)成的百葉窗可用于防止Zcuve在沉積過程中被涂層。
這一過程在O型環(huán)(氟橡膠)密封真空室(沒有任何其他烘烤方式)上效果好,也適用于較小尺寸的樣品傳輸。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | 法蘭口徑 |
Z275 | 2.75" / 40 CF |
Z450 | 4.5" / 63 CF |
Z600 | 6.0” / 100 CF |
Z800 | 8.0” / 160 CF |
An external assembly houses the UV emitter, which is situated just behind 高紫外線透射,超高真空窗。發(fā)射器背面的一面鏡子進(jìn)一步改善了185納米紫外線輻射通過窗戶進(jìn)入真空室的傳輸。Zcuve外殼用惰性氣體進(jìn)行回填,以防止外殼內(nèi)產(chǎn)生臭氧。最后,發(fā)射極引線經(jīng)由mhv高壓連接器連接至控制裝置。
主要特點(diǎn):
利用紫外輻射解吸水蒸氣的優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)生很少的熱量。更少的熱量意味著更少的機(jī)械零件和樣品損壞。另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是,uvc不需要直接的現(xiàn)場線路來解吸水蒸氣。它不能進(jìn)入角落和縫隙,但它可以反射拋光表面(如室壁),每次“反彈”損失50%到70%。
UVB-100
uvb-100使用uvc輻射無需加熱就可以釋放水蒸氣。發(fā)射器伸入真空室。
ZCuVE
零間隙紫外發(fā)射器水蒸氣解吸系統(tǒng)(Zcuve)利用紫外輻射無熱解吸水蒸氣。發(fā)射器位于真空室外面。
注:這些水蒸氣解吸產(chǎn)品設(shè)計(jì)用于高真空系統(tǒng)、大真空、氣室和樣品傳輸。它們的設(shè)計(jì)并不是為了取代超高真空系統(tǒng)中的輻射烘烤方法,而是與特高壓兼容。