等離子體原子/離子源-真空組件
- 公司名稱(chēng) 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/27 13:59:40
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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等離子體原子/離子源-真空組件
等離子體原子/離子源
我司提供等離子體源是通過(guò)將氣體分離來(lái)產(chǎn)生感應(yīng)耦合等離子體,包括氮?dú)?氧氣和氫氣等分子氣體。使用1個(gè)射頻線(xiàn)圈(頻率13.56MHz),能量將轉(zhuǎn)化為等離子體,這會(huì)產(chǎn)生僅具有低離子能量的”軟”等離子體。
我司提供的這款電子束蒸發(fā)源是由高質(zhì)量,*與高真空兼容材料構(gòu)成,并且可以烘烤至250℃。
等離子體原子/離子源-真空組件
應(yīng)用范圍:
氧化物
氮化物
摻雜
配置參數(shù):
多種型號(hào)不同功率RF等粒離子體源可選;
在等離子體源終端位置可添加離子束加熱器
自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
等粒子體監(jiān)測(cè)
手動(dòng)/自動(dòng) 擋板
放電管
適用氣體,如O2, N2, H2, CH4等
占用空間小
冷卻水流量低,
氣體流速可控