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HBO 200W/DC SUSS光刻機(jī)用曝光燈
- 公司名稱 深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
- 品牌
- 型號 HBO 200W/DC
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2019/7/21 17:20:00
- 訪問次數(shù) 344
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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SUSS MicroTecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)用光刻機(jī),目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同,該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈,主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列,具備良好的光通量,穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。
目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
Lamps for SÜSS Equipment | Lamp type | Max life[h] | Equipment(適用機(jī)型) |
HBO 200W/DC | 1000 | MJB3,MJB4 | |
HBO 350W/S | 600 | MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500 | |
HBO 1000W/D | 1000 | MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 | |
HBO 5000W/S | 1000 | MA300 |
以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù):
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