PR-3 離子去膠機

離子去膠機 型號：PR-3

通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等部分組成。  
離子去膠機射頻電源采用RF500W電源控制。  
氣路系統(tǒng)采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。 
  腔室結構：臥式、純石英 
  真空室規(guī)格：F210´300mm 
  限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%） 
  真空系統(tǒng):機械泵 
  大裝片直徑: F4英寸 
   大裝片容量：4英寸 25片/爐 
  去膠速率: ～500A/min 
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內) 
  操作方式:手動方式 
用戶可選配全自動控制方式

產品名稱：標準型勻膠機 臺式勻膠機 產品型號：SC-1B

標準型勻膠機  臺式勻膠機 型號：SC-1B

SC-1B標準型勻膠機主要適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。  
    采用變頻技術控制旋涂速度與時間，有效控制膠的厚度、均一性。可應用于各研究領域前期研發(fā)及小規(guī)模生產。 
主 要 技 術 指 標1. 控制顯示：LED數(shù)字控制器，用戶可通過控制器進行參數(shù)修改設置 
2. 勻膠模式：可同時輸入七組數(shù)值，即轉速及勻膠時間可任意設置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔，轉速啟動后先低速運轉（Ⅰ檔），然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔，直至達到高速運轉。 
3．勻膠時間：1～9999s任意時間可設置 
4．勻膠速度：0～8000rmp可調 
5．旋轉加速度：0～8000rpm/sec 由低速到高速加速時間0.1s～0.5s 
6．轉速穩(wěn)定度：±1rmp 
7．涂膠均勻性：±3% 
8．可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞） 
9．基片厚度：  ≤5mm 
 配 置 參 數(shù)1．設備配置Ф200mm接膠裝置 
2．電機功率：90W，額定轉速8000rmp 
3．真空泵：FY-1C旋片式真空泵，抽速60L/min(用戶可選配無油型真空泵) 
4．樣片托：標配1英寸一個，2英寸一個，其它規(guī)格按要求定制 
5．輸入電源： AC220V/240V  50HZ 
6．整機功率：100W 
7．機身尺寸： 280×360×240mm 
8．機身重量：10Kg

產品名稱：自動運動粘度毛細管清洗機 產品型號：DSL-265H  自動運動粘度毛細管清洗機 型號： DSL-265H       GB 265、ASTM D445       產品簡介   主要技術參數(shù)及指標   自動運動粘度毛細管清洗機適用于自動清洗毛細管粘度   計。該儀器使用方式快捷、簡便、易操作。   設定恒溫水浴所需清洗溫度，毛細管內殘液在高溫水浴   內流動性增加。開啟真空泵，洗液瓶內清洗液在真空泵作用   下沖洗毛細管內殘液，將粘度計內殘液排出、以達到清洗毛   細管的目的。清洗干凈以后，毛細管粘度計在高溫恒溫水浴   內自動通風干燥。   性能特點     l 儀器配備7寸高分辨率液晶觸摸顯示屏、觸摸屏按鍵控制。   l 全中文人機操作界面、漢字顯示，并配有提示框。實時顯示儀器所處的輸入輸出狀態(tài)，操   作員可以隨時了解儀器執(zhí)行的動作及所處狀態(tài)，直觀易操作。   l 儀器采用方形不銹鋼浴槽，前置觀察玻璃窗，可隨時觀察粘度管的清潔度。   l 恒溫浴自動升溫、控溫，恒溫浴攪拌均勻，溫度波動小。   l 儀器配備雙洗液瓶及一個廢液瓶。廢液瓶充滿時，自動報警提示。   l 可根據(jù)清洗難易程度，設定所需的粘度計恒溫、清洗及干燥時間。清洗烘干結束后，報警提示。   1. 工作電源：AC220V、50Hz   2. 顯示方式：7寸高分辨率液晶觸摸顯示屏   3. 清洗浴孔：6孔式，清洗粘度計支數(shù)：6支   4. 清洗粘度計類型：品氏或其他類型   5. 恒溫浴及烘干溫度范圍：室溫~+90℃，任意設定   6. 恒溫浴控溫精度：±0.5℃   7. 洗液瓶：2個，雙洗液   8. 廢液瓶：1個，配液位報警功能   9. 預熱、抽吸、清洗、烘干時間可調   10. 抽吸泵：≥2升/分鐘真空泵