MProbe系列 MProbe系列薄膜測厚儀
- 公司名稱 上海全耀儀器設(shè)備有限公司-C
- 品牌 其他品牌
- 型號 MProbe系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2019/11/21 15:35:38
- 訪問次數(shù) 280
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價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè) |
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MProbe系列薄膜測厚儀是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù)。
測量范圍: 1 nm - 1 mm
波長范圍: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2mum -3 um
產(chǎn)品特點:
a. 測量精度:0.01nm或0.01%
b. 準(zhǔn)確度:1nm或0.2%
c. 穩(wěn)定性:0.02nm或0.02%
d. 強大的軟件材料庫,包含500多種材料的光學(xué)常數(shù)
e. 通過Modbus TCP或OPC協(xié)議,與其他設(shè)備聯(lián)用
適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
MProbe系列薄膜測厚儀
標(biāo)準(zhǔn)配置中包含:
1. 主機(光譜儀,光源,電線)
2. 反射光纖
3. 樣品臺及光纖適配器
4. TFCompanion軟件
5. 校準(zhǔn)套裝
6. 測試樣品,200nm晶圓
廣泛的應(yīng)用于各種工業(yè)生產(chǎn)及工藝監(jiān)控中:
半導(dǎo)體晶圓,薄膜太陽能電池,液晶平板,觸摸屛,光學(xué)鍍膜,聚合物薄膜等