JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

•  
• JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射描電子顯微鏡
• JEOL新一代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評(píng)的性能如*的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等的同時(shí)，操作性能*簡(jiǎn)單化。該JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其佳性能。
•  

  JEOL新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評(píng)的如*的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能*地簡(jiǎn)單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其佳性能。

   產(chǎn)品特點(diǎn)

  JEOL新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評(píng)的如*的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能*地簡(jiǎn)單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其佳性能。

   

   

  JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)：

   

  ◇  Neo Engine（New Electron Optical Engine）

   

  新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng) Neo Engine（New Electron Optical Engine）， 是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動(dòng)化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀察精度。 無(wú)論是誰(shuí)都可以很簡(jiǎn)便地發(fā)揮出儀器原本的功能。

   

   

  ①   提高了自動(dòng)功能

   

         樣品 : 用CP 制備的礦物截面（樹(shù)脂包埋）                 入射電壓 : 5 kV，檢測(cè)器 : RBED，觀察倍率 : ×100,000

   

        不僅提高了自動(dòng)功能的精度，而且只需要幾秒鐘就可以聚焦。

   

  ②    提高了倍率的精度

   

         樣品 : 測(cè)長(zhǎng)用的樣品（MRS5）     入射電壓 : 10 kV， 觀察倍率: ×50,000

        大幅度地提高了倍率的精度，而且實(shí)現(xiàn)了高精度測(cè)長(zhǎng)。

   

  ③ 能量過(guò)濾器更加易用

   

       樣品 : 名片        入射電壓 : 1.5 kV， 檢測(cè)器 : UED， 觀察倍率 : ×3,500

   

       即使大幅度改變能量過(guò)濾器的設(shè)定值，視野或聚焦位置基本不會(huì)偏離。

   

   

  ◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™  Super High resolution Stage bias mode)

  GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開(kāi)發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺(tái)施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此，使用GBSH模式不需要使用的樣品桿就可以無(wú)縫過(guò)渡到其他模式。

  ※GENTLEBEAM™ 通過(guò)給樣品施加偏壓，起到了對(duì)入射電子減速，對(duì)出射電子加速的作用。

  ◇ 新型背散射電子檢測(cè)器※ 選配件

   

  采用新開(kāi)發(fā)的超高靈敏度的背散射電子檢測(cè)器，可以在清晰的襯度下進(jìn)行觀察。 靈敏度比以往的產(chǎn)品提高了很多，特別是在低加速電壓下能得到高襯度的成分像。

   

  舊機(jī)型                                                                             新機(jī)型

   

       樣品 : Cu的截面             入射電壓 : 3 kV     觀察倍率 : ×10,000  WD： 4.5 mm

   

  ◇ 新型外觀設(shè)計(jì)

       外觀設(shè)計(jì)緊湊，大大節(jié)省了安裝空間，可以支持多種安裝環(huán)境。

  ◇ 新的樣品交換方式

       采用新設(shè)計(jì)的樣品交換系統(tǒng)（load lock），操作簡(jiǎn)單了，不僅減少誤操作還提高了通量和耐用性。

   

  ◇ SMILENAVI

  SMILENAVI 是為初學(xué)者在短時(shí)間內(nèi)學(xué)會(huì)基礎(chǔ)操作而開(kāi)發(fā)的操作導(dǎo)航系統(tǒng)。 操作人員按照流程，只要點(diǎn)擊圖標(biāo)，SEM操作畫(huà)面就會(huì)聯(lián)動(dòng)，依照提示引導(dǎo)即可操作。

  ①   強(qiáng)調(diào)操作按鈕

  只要將鼠標(biāo)光標(biāo)挪到SMILENAVI的指南鍵上，SEM的GUI上的相應(yīng)鍵會(huì)出現(xiàn)方框。

   

  在SMILENAVI指南里點(diǎn)擊按鍵后，SEM的GUI會(huì)變成灰色來(lái)強(qiáng)調(diào)相應(yīng)鍵。

   

  ②   顯示照片

  在 SMILENAVI的指南 里點(diǎn)擊按鍵后，會(huì)顯示該按鍵位置的照片。

•  

浸沒(méi)式肖特基Plus FEG 通過(guò)與電子槍和低像差聚光鏡的組合，性能進(jìn)一步得到改善，達(dá)到了更高的亮度。 能有效地收集從電子槍發(fā)射出的電子，即使在低加速電壓下，也能獲得數(shù)pA ～數(shù)10 nA 的探針電流，不用交換物鏡光闌也能進(jìn)行高分辨觀察和快速元素面分布及EBSD 分析。

◇ ACL（光闌角控制鏡）

ACL（佳光闌角控制鏡）位于物鏡的上方，自動(dòng)優(yōu)化整個(gè)電流范圍內(nèi)的物鏡光闌角。 因此，即使改變探針電流量，也能調(diào)整入射電子的擴(kuò)散，始終可以獲取小的電子束斑。不管是高分辨觀察還是X 射線分析，對(duì)探針電流的大幅度變化都能輕松對(duì)應(yīng)。