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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>其它測厚儀 >SF-3 干渉式膜厚儀

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SF-3 干渉式膜厚儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 型號 SF-3
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2020/6/16 11:26:47
  • 訪問次數(shù) 1876

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


大塚電子(蘇州)有限公司成立于20074月,致力于讓中國客戶能安心使用已有50年歷史的日本大塚電子所研發(fā)與生產(chǎn)的測量與分析設(shè)備。

我們的產(chǎn)品涵蓋LED、OLED等光源和照明行業(yè),產(chǎn)品包括有液晶和有機(jī)EL顯示行業(yè)的光學(xué)特性評估與檢測設(shè)備;用于測量半導(dǎo)體晶圓和薄膜化學(xué)品厚度的設(shè)備;以及評估墨水、研磨劑、醫(yī)藥和化妝品材料的納米顆粒(粒徑和ζ電位測量)設(shè)備,這些設(shè)備均應(yīng)用了我們的“光”技術(shù)。

在日本,我們的產(chǎn)品擁有眾多交付實(shí)績。為提供全面的售前和售后支持,我們設(shè)立了技術(shù)和維護(hù)中心,努力提供快速、令客戶滿意并能使客戶感受到關(guān)懷和價值的服務(wù)。

我們致力于不斷提升產(chǎn)品價值和支持服務(wù),做到讓客戶能主動向他人推薦大塚電子的產(chǎn)品。

我們是大塚集團(tuán)的一員,繼承了集團(tuán)的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health worldwide

以及大塚集團(tuán)歷代的3個思想,即「流汗悟道」「實(shí)證」「創(chuàng)造性」,并以此行動。我們推出創(chuàng)新產(chǎn)品,開展業(yè)務(wù),為社會做出貢獻(xiàn)。

對于那些挑戰(zhàn)可能性邊界的人來說,天空是無限的。超越它,就會有一個全新的前沿世界。

利用大塚電子的技術(shù)“光”的力量,為業(yè)界提供解決方案是我們的使命。

Otsuka-people creating new products for better health worldwide

傳承大塚的“實(shí)證與創(chuàng)造”精神,時刻為了實(shí)踐“因?yàn)槭谴髩V所以能做到”、"只有大塚才能做到"的口號而努力奮斗。

大塚電子,通過革新的且富有創(chuàng)造性的產(chǎn)品(設(shè)備)服務(wù),在「健康和生活」的領(lǐng)域,不斷地為人民的生活做著貢獻(xiàn)。



zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng),晶圓在線測厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學(xué)材料檢測設(shè)備,非接觸光學(xué)膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測系統(tǒng),量子效率測量系統(tǒng)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣

 

 item_0010SF-3_bg.jpg

干渉式膜厚儀以非接觸方式測量晶圓等的研磨和拋光工藝,超高速、實(shí)時、高精度測量晶圓和樹脂。

 

干渉式膜厚儀特點(diǎn):

  • 非接觸式,非破壞性厚度測量
  • 反射光學(xué)系統(tǒng)(可從一側(cè)接觸測量)
  • 高速(5 kHz)實(shí)時評測
  • 高穩(wěn)定性(重復(fù)精度低于0.01%)
  • 耐粗糙度強(qiáng)
  • 可對應(yīng)任意距離
  • 支持多層結(jié)構(gòu)(多5層)
  • 內(nèi)置NG數(shù)據(jù)消除功能
  • 可進(jìn)行距離(形狀)測量(使用配件嵌入式傳感器)*

*通過測量測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離

 

 

 

Point1:*技術(shù)

對應(yīng)廣范圍的薄膜厚度并實(shí)現(xiàn)高波長分辨率。
采用大塚電子*技術(shù)制成緊湊機(jī)身。

thickne.png

spectra.png

Point2:高速對應(yīng)

即使是移動物體也可利用準(zhǔn)確的間距測量,

是工廠生產(chǎn)線的理想選擇。

speed.png

Point3:各種表面條件的樣品都可對應(yīng)

從20微米的小斑點(diǎn)到

各種表面條件的樣品,都可進(jìn)行厚度測量。

spot.png

Point4:各種環(huán)境都可對應(yīng)

因?yàn)檫h(yuǎn)可以從200 mm的位置進(jìn)行測量,

所以可根據(jù)目的和用途構(gòu)建測量環(huán)境。

condtion.png

測定項(xiàng)目

厚度測量(5層)

用途

各種厚膜的厚度

youto.png

式樣

型號SF-3/200SF-3/300SF-3/1300SF-3/BB
測量厚度范圍5~40010~77550~13005~775
樹脂厚度范圍10~100020~1500100~260010~1500
小取樣周期kHz(μsec)5(200)※1-
重復(fù)精度%0.01%以下※2
測量點(diǎn)徑約φ20以上※3
測量距離mm50.80.120※4.200※4
光源半導(dǎo)體光源(クラス3B相當(dāng))
解析方法FFT解析,適化法※5
interfaceLAN,I/O入輸出端子
電源DC24V式樣(AC電源另行銷售)
尺寸mm123×128×224檢出器:320×200×300
     光源:260×70×300
     
選配各種距離測量探頭,電源部(AC用),安全眼睛
     鋁參考樣品,測量光檢出目標(biāo),光纖清理器

 *1 : 測量條件以及解析條件不同,小取樣周期也不同。
*2 : 是產(chǎn)品出貨基準(zhǔn)的保證值規(guī)格,是當(dāng)初基準(zhǔn)樣品AirGap約300μm和
         約1000μm測量時的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差( n = 20 )
*3 : WD50mm探頭式樣時的設(shè)計(jì)值
*4 : 特別式樣
*5 : 薄膜測量時使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300

基本構(gòu)成

 SF-3_2.png

測定例

 貼合晶圓

 Mapping結(jié)果

研削后300mm晶圓硅厚度

 關(guān)聯(lián)產(chǎn)品



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