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RE-200 半導(dǎo)體行業(yè)低相位差高速檢查設(shè)備
- 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號(hào) RE-200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/6/11 16:37:32
- 訪問次數(shù) 626
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zeta電位?粒徑?分子量測(cè)量系統(tǒng),晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學(xué)材料檢測(cè)設(shè)備,非接觸光學(xué)膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測(cè)系統(tǒng),量子效率測(cè)量系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-80萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
半導(dǎo)體行業(yè)低相位差高速檢查設(shè)備 RE-200
半導(dǎo)體行業(yè)低相位差高速檢查設(shè)備適用于光軸的高精度管理! 3σ≦0.02°
低相位差測(cè)量
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
• 可測(cè)從0nm開始的低(殘留)相位差
• 光軸檢出同時(shí)可高速測(cè)量相位差(Re.)
(相當(dāng)于0.1秒以下來處理)
• 無驅(qū)動(dòng)部,重復(fù)再現(xiàn)性高
• 設(shè)置的測(cè)量項(xiàng)目少,測(cè)量簡(jiǎn)單
• 測(cè)量波長(zhǎng)除了550nm以外,還有各種波長(zhǎng)
• Rth測(cè)量、方位角測(cè)量
(需要option的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具
• 通過與拉伸試驗(yàn)機(jī)組合,可同時(shí)評(píng)價(jià)膜的偏光特性和光弾性
(本系統(tǒng)屬特注。)
測(cè)量項(xiàng)目
• 相位差(ρ[deg.], Re[nm])
• 主軸方位角(θ[deg.])
• 橢圓率(ε)?方位角(γ)
• 三次元折射率(NxNyNz)
用 途
• 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
• 樹脂、玻璃等透明、非均質(zhì)材料(玻璃有變形,歪曲等)
原 理
• 什么是RE-200
• RE-200是光子結(jié)晶素子(偏光素子)、CCD相機(jī)構(gòu)成的偏光計(jì)測(cè)模塊和透過的偏光光學(xué)系相組合,可高速且高精度的測(cè)量位相差(相位差)、及主軸方位角。CCD相機(jī)1次快門獲取偏光強(qiáng)度模式,沒有偏光子旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu),系統(tǒng)整體上是屬于小型構(gòu)造,長(zhǎng)時(shí)間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
仕 樣
型號(hào) | RE series |
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樣品尺寸 | 小10×10mm ~大100×100mm |
測(cè)量波長(zhǎng) | 550nm (標(biāo)準(zhǔn)仕樣)※1 |
相位差測(cè)量范圍 | 約0nm ~約1μm |
軸檢出重復(fù)精度 | 0.05°(at 3σ) ※2 |
檢出器 | 偏光計(jì)測(cè)模塊 |
測(cè)量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
光源 | 100W 鹵素?zé)艋?LED光源 |
本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430(D) mm 、約20kg |
Option
• Rth測(cè)量、方位角測(cè)量※治具本體(旋轉(zhuǎn):180°, 傾斜:±50°)
• 動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具