FR-Scanner 自動(dòng)化超高速精準(zhǔn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x

                             廠(chǎng)家正式*代理商：岱美有限公司

ThetaMetrisis是一家私有公司，成立于2008年12月，位于希臘雅典，是NCSR'Demokritos'的微電子研究所的shou家衍生公司。ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在幾埃到幾毫米的超寬范圍內(nèi)，準(zhǔn)確而同時(shí)地測(cè)量堆疊的薄膜和厚膜的厚度和折射率。

                                               FR-Scanner—— 自動(dòng)化超高速精準(zhǔn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

       FR-Scanner——自動(dòng)化超高速精準(zhǔn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x 是一種緊湊的臺(tái)式工具，適用于自動(dòng)測(cè)繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準(zhǔn)確測(cè)量薄膜特性:厚度，折射率，均勻性，顏色等。真空吸盤(pán)可應(yīng)用于任何直徑或其他形狀的樣片。

       *的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和*穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。FR-Scanner 通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和光學(xué)探頭直線(xiàn)移動(dòng)掃描晶圓片(極坐標(biāo)掃描)。通過(guò)這種方法，可以在很短的時(shí)間內(nèi)記錄具有高重復(fù)性的精確反射率數(shù)據(jù)，這使得FR-Scanner 成為測(cè)繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
測(cè)量 8” 樣片 625 點(diǎn)數(shù)據(jù)<60 秒.

自動(dòng)化超高速精準(zhǔn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x

 

二、應(yīng)用領(lǐng)域

o      彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o      聚合物涂層、粘合劑等

o      生物醫(yī)學(xué)（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

o     半導(dǎo)體生產(chǎn)制造：(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu)， poly-Si,Si, DLC )
o      光伏產(chǎn)業(yè)
o      液晶顯示
o      光學(xué)薄膜
o      聚合物
o      微機(jī)電系統(tǒng)和微光機(jī)電系統(tǒng)
o      基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

三、產(chǎn)品特點(diǎn)
o 單點(diǎn)分析(無(wú)需預(yù)設(shè)值）
o 動(dòng)態(tài)快速測(cè)量
o 包括光學(xué)參數(shù)(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預(yù)存材料
o 離線(xiàn)分析
o 免費(fèi)軟件更新 

四、技術(shù)參數(shù)

FR-Scanner——自動(dòng)化超高速精準(zhǔn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x

五、工作原理

白光反射光譜（WLRS）測(cè)量方法是在一定波長(zhǎng)范圍內(nèi)，分析垂直于樣品表面的入射光和從單層或多層堆疊薄膜反射的反射光譜的分析方法。

由界面&表面產(chǎn)生的反射光譜被用于確定獨(dú)立和附著于基底（在透明或部分/全反射基底上）的堆疊膜層的厚度、光學(xué)常數(shù)（n&k）等。

岱美有限公司（下面簡(jiǎn)稱(chēng)岱美）成立于1989年，是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的性高科技設(shè)備分銷(xiāo)商，主要為半導(dǎo)體、MEMs、光通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、高校及研發(fā)中心提供各類(lèi)測(cè)量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持，并與一些重要的客戶(hù)建立了*合作的關(guān)系。

自1989年創(chuàng)立至今，岱美的產(chǎn)品以及各類(lèi)服務(wù)、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國(guó)大陸、香港、中國(guó)臺(tái)灣、新加坡、泰國(guó)、馬來(lái)西亞、菲律賓等地區(qū)。
主要產(chǎn)品包括有：EVG晶圓鍵合設(shè)備、EVG納米壓印設(shè)備、EVG紫外光刻機(jī)、EVG涂膠顯影機(jī)、EVG硅片清洗機(jī)、EVG超薄晶圓處理設(shè)備、壓力計(jì)、流量計(jì)、等離子電源、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、電容式位移傳感器、振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì) (VSM)、粗糙度檢測(cè)儀、電鏡 (SEM)、透鏡 (TEM)、原子力顯微鏡 (AFM)、防振臺(tái)系統(tǒng)、三維原子探針材料分析儀 (Atom Probe)、激光干涉儀、平面／球面大口徑動(dòng)態(tài)激光干涉儀、氦質(zhì)譜檢漏儀、紫外線(xiàn)固化儀、碳納米管生長(zhǎng)設(shè)備等。
岱美中國(guó)擁有八十多名訓(xùn)練有素的工程師，能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶(hù)作出快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù)；為確保他們的專(zhuān)業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求，岱美定期委派工程師前往海外接受專(zhuān)項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練，務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。
總部位于中國(guó)香港的岱美分別在新加坡、泰國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣、馬來(lái)西亞、菲律賓及中國(guó)大陸（上海、東莞及北京）設(shè)立了分公司及辦事處，以帶給客戶(hù)更快捷更的銷(xiāo)售及維修服務(wù)。
我們真誠(chéng)希望和業(yè)界的用戶(hù)互相合作，共同發(fā)展??！     

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