Pluto-MD等離子去膠機
- 公司名稱 武漢賽斯特精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/7/23 2:00:45
- 訪問次數(shù) 729
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子 |
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Pluto-MD等離子去膠機
產(chǎn)品介紹 :
去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。PLUTO-MD使用性能出色的組件和軟件,可對工藝參數(shù)進行精細(xì)控制。它的工藝監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集軟件可實現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。
產(chǎn)品性能:
經(jīng)過真空檢漏316不銹鋼腔體, 具備更好密封性能和保壓能力
5L腔體,雙層電極,離子密度可控
13.5EMHz射頻等離子源,兼容物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng),覆蓋全部樣品種類
創(chuàng)新可調(diào)電極,可以調(diào)整有效處理面積中等離子體的能量密度
標(biāo)配兩路氣體,適應(yīng)更多用戶需求。
Pluto-MD等離子去膠機采用電容觸摸屏,全數(shù)字控制。
全手動控制和預(yù)設(shè)工藝參數(shù)自動運行
Pluto-MD等離子去膠機 產(chǎn)品參數(shù):