YES–PB Series
- 公司名稱 上海跡亞國(guó)際商貿(mào)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2021/6/2 9:51:02
- 訪問(wèn)次數(shù) 793
Series性能固化系統(tǒng)原理固化系統(tǒng)用途固化系統(tǒng)型號(hào)供應(yīng)固化系統(tǒng)
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生命科學(xué)，實(shí)驗(yàn)動(dòng)物研究，藥物開(kāi)發(fā)，有機(jī)合成，材料科學(xué)/納米技術(shù)，清潔能源研究
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
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真空固化的優(yōu)勢(shì)
•更快的流程：3.5小時(shí)vs 8個(gè)小時(shí)以上
•層流減少/消除了顆粒
•更*的固化（排氣量減少5倍）
•減少膜應(yīng)力，降低晶片翹曲
•功耗和N2消耗減少1.6到2倍
•大大降低了資本成本，降低了2-3倍的運(yùn)營(yíng)成本
PB8: 多2個(gè)200mm晶圓盒
PB12: 多2個(gè)300mm晶圓盒
技術(shù)參數(shù)
硬件
潔凈室相容性:10級(jí)
箱體清潔度：1級(jí)
晶圓尺寸：大200mm
容量：每批多可容納50個(gè)8英寸晶圓（兩個(gè)25個(gè)晶圓盒）
工作溫度：環(huán)境溫度450°C
氮?dú)饬髁浚? SCFM
耗氮量：15-25升/分鐘。
內(nèi)腔尺寸：36.62厘米（內(nèi)徑）x 66.52厘米（深）—（14.42“ x 26.19”）
腔室處理面積：23.95厘米（寬）x45.97厘米（深）x24.69厘米（高）—（9.43“ x
18.10”x 9.72“）
系統(tǒng)整體尺寸：68.96厘米（寬）x145.92厘米（深）x 77.87厘米（高）—（27.15“
x 57.45”x 30.64“）
控制臺(tái)尺寸：59.44厘米（寬）x 96.01厘米（深）x 23.62厘米（高）—（23.4“ x
37.8”x 9.3“）
箱體材質(zhì)：316L不銹鋼
工藝氣體輸入：1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，多3個(gè)可選
質(zhì)量流量控制器：可選–多3個(gè)用于氣體混合
層流過(guò)濾器：100微米Mott™板式過(guò)濾器
清潔度：減少大多數(shù)應(yīng)用中的顆粒
軟件
配方數(shù)：8種溫度曲線
每個(gè)配方的步數(shù)：16個(gè)程序步
分段時(shí)間范圍：0-99小時(shí)
定時(shí)器設(shè)定分辨率：1分鐘
性能
溫度均勻性：所有溫度點(diǎn)穩(wěn)定15分鐘后，在保壓期間保持±5°C
平均升溫速度（150°C-450°C）：5°C / min。 空箱負(fù)荷
平均冷卻速度（450°C-150°C）：4°C / min。 空箱負(fù)荷
氧氣濃度：本底超過(guò)10 ppm
配件
電源要求：208V，40 A，50/60 Hz，3相
重量（約）：575磅（261公斤）
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)