產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子 |
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品牌:ECM
型號(hào):E-Chucks
ECM是一個(gè)擁有30多年成功的技術(shù)公司。公司具有一支創(chuàng)新型PVD,CVD,熱/室溫/低溫,離子注入,刻蝕等檢測(cè)隊(duì)伍。依靠完整的熱解決方案,包含加熱/冷卻基座/BSG整治線(xiàn)小型或大批量生產(chǎn)能力,通過(guò)高質(zhì)量產(chǎn)品和生產(chǎn)工藝一致性,成為客戶(hù)滿(mǎn)意的生產(chǎn)單位。北京朗銘潤(rùn)德光電有限公司作為ECM公司E-Chucks靜電夾持卡盤(pán)設(shè)備的代理,為中國(guó)的廣大客戶(hù)提供完善的技術(shù)支持和售后支持。
產(chǎn)品用途:靜電夾持卡盤(pán)基于電容技術(shù)同時(shí)可以整合基片的冷卻和加熱。用于PVD,CVD, 干法刻蝕,離子植入等設(shè)備。
適用襯底材料:硅,三五族化合物半導(dǎo)體和絕緣體等。
適用襯底尺寸: *大450mm直徑基片。
可根據(jù)客戶(hù)要求定制。
合作客戶(hù)部分名單:
Evatec、Lam、0xford、Sentech、Applied materia1s、A1cate1、Oerl1ikon、Acia system、SPTS、HMI、CAMECA、Po1yteknik、Samsung等