SU8 2005 2025 2050 2075 SU8光刻膠

MicroChem環(huán)氧樹脂抗蝕劑由化學放大的環(huán)氧基負性抗蝕劑組成，它們具有高度功能性，光學透明性和   可接近UV（365nm）輻射的可成像。固化膜或微結構是對溶劑非常抵扣的，酸和堿以及具有優(yōu)異的熱穩(wěn)   定性和機械穩(wěn)定性，如像素墻，流體通道和噴嘴，微陣列和間隔。

涂層

SU-8 2000抗蝕劑有十二種標準粘度。 本加工指南文件涉及四種產(chǎn)品：SU-8 2025，SU-8 2035，SU-8 2050和SU-82075。

提供選擇合適的SU-8 2000抗蝕劑和旋轉條件以實現(xiàn)所需膜厚所需的信息。

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1.）為基板直徑的每英寸（25毫米）分配1ml的抗蝕劑。

2.）以100 rpm /秒的加速度在500 rpm下旋轉5-10秒。

3.）以300 rpm /秒的速度在2000 rpm下旋轉30秒。