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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機(jī)>PTL-VM500 真空等離子表面處理系統(tǒng)

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PTL-VM500 真空等離子表面處理系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 安徽弛芯生物科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) PTL-VM500
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2021/11/30 16:59:54
  • 訪問(wèn)次數(shù) 802

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公司提供各類微細(xì)加工服務(wù)和工藝流程設(shè)計(jì)咨詢,為各大科研院所提供多種單項(xiàng)加工或綜合類器件開(kāi)發(fā)服務(wù)。公司與國(guó)內(nèi)多家研究單位和公司機(jī)構(gòu)有長(zhǎng)期的委托加工合作關(guān)系,設(shè)備齊全,服務(wù)及時(shí),適合各類加工需求。

主要從事半導(dǎo)體和MEMS領(lǐng)域微細(xì)加工設(shè)備的銷售。公司目前主要銷售的產(chǎn)品是晶圓鍵合設(shè)備、晶圓噴膠設(shè)備、基礎(chǔ)工藝設(shè)備和檢測(cè)設(shè)備等半導(dǎo)體*工藝設(shè)備。

公司主要業(yè)務(wù)面向國(guó)內(nèi)科研院所和高校、以及科技創(chuàng)新型的中小企業(yè),幫助客戶實(shí)現(xiàn)最快速度取得科研和生產(chǎn)用耗材。公司目前經(jīng)營(yíng)的產(chǎn)品有各類委托加工、設(shè)備、硅片、特殊襯底、光刻膠、高純度試劑、超凈耗材、貨源優(yōu)質(zhì),響應(yīng)速度快,國(guó)內(nèi)外貨源充實(shí)。

公司擁有一只高素質(zhì)的服務(wù)隊(duì)伍,長(zhǎng)期從事微細(xì)加工領(lǐng)域的工作,致力于幫助廣大科研和科技創(chuàng)新工作者實(shí)現(xiàn)夢(mèng)想,為您提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。公司已與國(guó)內(nèi)眾多科研單位進(jìn)行了廣泛的業(yè)務(wù)合作,高質(zhì)量的產(chǎn)品與服務(wù)為我們贏得了良好的信譽(yù),期待更多的用戶能夠和我們建立更長(zhǎng)久的合作關(guān)系。






生物芯片,微流控芯片,壓力泵,注射泵,等離子清洗機(jī),壓力控制器,器官芯片,納米載藥,脂質(zhì)體

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥
艙體規(guī)格 直徑165mm*長(zhǎng)度220mm 輸出功率 0-150W
輸出頻率 40KHz 艙體容積 5L

真空等離子表面處理系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn):

1.環(huán)保技術(shù):等離子體作用過(guò)程是氣- 固相干式反應(yīng),不消耗水資源、無(wú)需添加化學(xué)藥劑,對(duì)環(huán)境無(wú)污染。

2.廣適性:不分處理對(duì)象的基材類型,均可進(jìn)行處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料都能很好地處理。

3.溫度低:接近常溫,特別適于高分子材料,比電暈和火焰方法有較長(zhǎng)保存時(shí)間和較高表面張力。

4.功能強(qiáng):僅涉及高分子材料淺表面(10 -1000 埃),可在保持材料自身特性的同時(shí),賦予其一種或多種新的功能;

5.低成本:裝置簡(jiǎn)單,易操作維修,可連續(xù)運(yùn)行,往往幾瓶氣體就可以代替數(shù)千公斤清洗液,因此清洗成本會(huì)大大低于濕法清洗。

6. 全過(guò)程可控工藝:所有參數(shù)可由電腦設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄,進(jìn)行工藝質(zhì)量控制。

7. 處理物幾何形狀無(wú)限制:大或小,簡(jiǎn)單或復(fù)雜,部件或紡織品,均可處理。


技術(shù)參數(shù)

1、設(shè)備外形尺寸: 450mm*400mm*260mm

2、真空倉(cāng)體尺寸: Φ151×285(L)mm (5L)

3、倉(cāng)體結(jié)構(gòu): 不銹鋼腔體,內(nèi)置容性耦合電極,無(wú)污染,內(nèi)置石英托盤。

4、等離子發(fā)生器: 頻率40KHZ,功率0-300W 調(diào)節(jié),全電路保護(hù),連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作(風(fēng)冷)。

5、控制系統(tǒng):PLC 觸摸屏全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、施耐德等進(jìn)口品牌電器元件,有手動(dòng)、自動(dòng)兩種控制模式,真彩臺(tái)達(dá)觸摸屏,西門子可編程控制器(PLC),美國(guó)產(chǎn)真空壓力傳感系統(tǒng),可在線設(shè)定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時(shí)間、等離子功率等工藝參數(shù),并具有故障報(bào)警、工藝存儲(chǔ)等多種功能。在自動(dòng)模式下設(shè)置各項(xiàng)工藝參數(shù),即可一鍵啟動(dòng),連續(xù)重復(fù)運(yùn)行。手動(dòng)模式用于實(shí)驗(yàn)工藝以及設(shè)備維護(hù)維修。


工藝流程

1、處理工藝流程

裝入工件→抽真空→沖入反應(yīng)氣體→等離子放電處理→回沖氣體→取出工件

2、工藝控制:

2.1 處理時(shí)間控制: 1 秒~120 分鐘連續(xù)可調(diào)。

2.2 等離子放電壓力:絕對(duì)壓力為98Kpa~真空泵最高能力(相對(duì)壓力為30~80Pa)

2.3 功率設(shè)定范圍:0~300W 連續(xù)可調(diào)

2.4 流量設(shè)定范圍: 氣體1(0~60ml/min) 氣體2(0~160ml/min)

3、PLC 軟件功能(操控界面)

3.1 主畫面:實(shí)時(shí)監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)及數(shù)據(jù),等離子電源功率、氣體流量、閥門開(kāi)

關(guān)、真空壓力、運(yùn)行時(shí)間等。

3.2 參數(shù)設(shè)置:可設(shè)定、修改工藝參數(shù)及步驟

3.3 工作狀態(tài):可在線查看真空壓力、等離子功率等數(shù)據(jù)及狀態(tài)

3.4 故障報(bào)警:多種故障檢測(cè)、報(bào)警及互鎖保護(hù)


場(chǎng)地要求

電源:兩相三線,獨(dú)立接地,接地電阻≤2Ω。應(yīng)使用截面積3mm2 以上的接地線將設(shè)備接至PE。

真空泵排放氣管:軟管,管徑(內(nèi)徑)建議將排氣管接至室外

場(chǎng)地溫度:≤40℃

相對(duì)濕度:RH(35-85)%

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