化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實(shí)驗(yàn)爐> 多通道PECVD等離子氣相沉積管式爐系統(tǒng)
電爐，馬弗爐，氣氛爐，真空爐，管式爐，CVD氣相沉積系統(tǒng)，PECVD氣相沉積系統(tǒng)，箱式爐，碳管爐，鎢絲爐，隧道爐，臺車爐，烘箱，氫氣爐，升降爐，真空中頻熔煉爐，熱壓爐，氣淬爐，油淬爐，氣壓爐
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 含鉬電阻絲 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 內(nèi)部尺寸 | 80x300mm | 升溫速度（達(dá)到最高溫） | 20℃/min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,電子 |
| 最大功率 | 2000kW | 最高溫度 | 1200℃ |
多通道PECVD等離子氣相沉積管式爐系統(tǒng)
產(chǎn)品概述
多通道PECVD等離子氣相沉積管式爐系統(tǒng)（可做低真空）PECVD系統(tǒng)，由管式爐，等離子射頻電源，分子泵真空系統(tǒng)，多通道氣路等組成的等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)；溫度可以達(dá)到1700度，混氣系統(tǒng)流量調(diào)節(jié)可由質(zhì)量流量計(jì)控制（可選浮子流量計(jì)），混氣路數(shù)有2路，3路，4路，5路等相混合，可以將多種氣體進(jìn)行精確地混氣后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)。
產(chǎn)品用途
系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于納米材料生長，石墨烯生成，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等各種薄膜材料，可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜，用作手機(jī)觸摸屏，平板電腦，傳感器，智能穿戴等領(lǐng)域；亦常用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等；
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | 高真空（低真空）PECVD系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號 | GKD-PECVD |
管式爐部分 | |
電 源 | 220V 50Hz（電壓可定制） |
功 率 | 4kw |
額定溫度 | 1200℃（可做1400℃或1700℃） |
工作溫度 | 1100（1300℃或1600℃） |
升溫速率 | 0-20℃/min |
加熱區(qū)長度 | 400mm（可根據(jù)客戶需求定制） |
多溫區(qū) | 支持 |
控溫方式 | 51段PID智能微電腦可編程控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 高純含鉬電阻絲 |
爐管尺寸 | φ60x1400mm |
測溫方式 | K型熱電偶 |
爐管材質(zhì) | 石英管（大于1200℃用高純剛玉管） |
爐膛材料 | 一層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強(qiáng)度，又確保具有很好的隔熱效果。 二層 : 1430型多晶氧化鋁陶瓷纖維。三層: 保溫棉若干 |
溫控保護(hù) | 具有超溫保護(hù)和斷偶預(yù)警功能 |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配置不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
選配 | 輔助降溫風(fēng)扇 |
等離子電源系統(tǒng) | |
名稱 | 500w等離子電源 |
供電電壓/頻率 | 單相交流（187V-253V）50-60Hz |
功率范圍 | 0-500w（連續(xù)可調(diào)） |
工作模式 | 連續(xù)輸出 |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
反射功率 | 70w |
功率穩(wěn)定度 | ≤2w |
射頻輸出阻抗接口 | N-type，female（50Ω） |
認(rèn)證 | CE |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
氣路系統(tǒng) | |
名稱 | 多路質(zhì)量流量計(jì) |
控制方式 | 多通道質(zhì)量流量計(jì)，采用觸屏控制，數(shù)字顯示，自動控制 |
流量范圍 | 0-1000sccm可調(diào) |
混氣裝置 | 1個混氣罐 |
閥門位置 | N個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制N種氣體 |
進(jìn)出氣口 | N進(jìn)一出 |
流量控制 | 手動旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié) |
連接方式 | 雙卡套連接 |
真空系統(tǒng) | |
名稱 | 真空系統(tǒng) |
主要參數(shù) | 1， 采用高真空分子泵機(jī)組，極限真空度可以達(dá)到10^-4Pa， 2， KF25快捷，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭、真空泵相連 3， 數(shù)字式真空計(jì)顯示，其測量范圍可達(dá)5x10^-5~1500mbar，測量精度高 |
質(zhì)保期 | 整機(jī)1年質(zhì)保，終身維護(hù) |
耗材 | 爐管，密封圈，熱電偶，加熱元件 |
設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)尺寸
型號 | 爐管直徑 | 加熱區(qū)長度 | 功率 | 額定溫度 | 爐管 | 氣路數(shù) | 熱電偶 | 加熱元件 |
40mm | 300mm | 3 KW | 1200℃ 1400℃ 1700℃ | 石英管 剛玉管 | 1-6 （可選） | K型 S型 B型 | 高純含鉬電阻絲
硅碳棒 硅鉬棒 | |
60mm | 300mm | 3 KW | ||||||
80mm | 300mm | 5 KW | ||||||
100mm | 300mm | 5 KW | ||||||
120mm | 300mm | 6 KW | ||||||
40mm | 400mm | 3 KW | ||||||
60mm | 400mm | 3 KW | ||||||
80mm | 400mm | 5 KW | ||||||
100mm | 400mm | 5 KW | ||||||
120mm | 400mm | 6 KW |
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