1200℃ CVD化學氣相沉積系統(tǒng)單晶制備管式爐
- 公司名稱 上海高科達電爐有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2022/1/5 17:29:50
- 訪問次數(shù) 1359
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 含鉬電阻絲 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 內部尺寸 | 60x300mm | 升溫速度（達到最高溫） | 20℃/min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 應用領域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,電子 |
| 最大功率 | 2000kW | 最高溫度 | 1200℃ |
1200℃ CVD化學氣相沉積系統(tǒng)單晶制備管式爐
產(chǎn)品概述
GKD-CVD系列1200℃ CVD化學氣相沉積系統(tǒng)單晶制備管式爐是由管式爐加熱系統(tǒng)，多通道混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成；溫度可以達到1700度，可以做單溫區(qū)，雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)；混氣系統(tǒng)流量調節(jié)可以是質量流量計或者浮子流量計，混氣路數(shù)有2路，3路，4路，5路等相混合，可以將多種氣體進行精確地混氣后導入到管式爐內的反應室中反應。
產(chǎn)品用途
廣泛用于半導體工業(yè)中沉積薄膜材料、提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料，以及大多數(shù)金屬材料和合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等CVD工藝實驗。是高等院校，科研院所和工況企業(yè)進行氣氛燒結，氣氛還原、CVD實驗的理想設備。
技術參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | CVD氣相沉積系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號 | GKD-CVD |
結 構 | 爐殼采用雙層風冷結構，使得外表面溫度低于50℃ 爐膛采用*真空吸附成型的多晶氧化鋁陶瓷纖維，節(jié)能環(huán)保，減少熱量的損失，爐膛內表面涂有進口的氧化鋁陶瓷涂層，有效提高加熱效率，同時可以延長設備的使用壽命。 |
混氣系統(tǒng) | 1-5路浮子流量計（可選質量流量計）配置在移動工作臺上，可同時通入1-5路不同的氣體，1-5通道自動控制，精度0.02%，數(shù)字顯示 內置混氣罐，底部裝有泄廢液口，每路氣體管路均配有逆止閥 MFC 1 范圍 0-100sccm MFC 2和3 范圍 0-500sccm 進氣接口 1/4NPS 出氣接口1/4NPS |
真空系統(tǒng) | 一個雙旋片機械真空泵安裝在移動架內，通過此真空泵，真空度可以達到5x10^-2 torr 在移動架內安裝四級泵（配分子泵），可以使得真空度達到7x10^-5Pa LED數(shù)字式真空顯示計（測量范圍0.1mtorr~850torr） |
電 源 | 208-240V 50/60Hz |
功 率 | 4kw |
額定溫度 | 1200℃（可做1400℃或1700℃） |
工作溫度 | 1100（1300℃或1600℃） |
升溫速率 | 0-20℃/min |
加熱區(qū)長度 | 400mm（可根據(jù)客戶需求定制） |
多溫區(qū) | 支持（具體請咨詢業(yè)務人員） |
控溫方式 | 51段PID智能微電腦可編程控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 高純含鉬電阻絲 |
爐管尺寸 | φ60x1200mm |
測溫方式 | K型熱電偶 |
爐管材質 | 石英管（大于1200℃用高純剛玉管） |
爐膛材料 | 一層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強度，又確保具有很好的隔熱效果。 |
溫控保護 | 具有超溫保護和斷偶預警功能 |
可通氣體 | 氮氣、氬氣、二氧化碳、空氣、水蒸氣等非可燃性氣體 |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配置不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有數(shù)字真空顯示計，連接閥門通過真空泵，壓力可以達到5x10^-2 torr，壓升率6mtorr/min |
可選配件 | 爐管，不銹鋼密封法蘭，熱電偶，耐高溫手套，坩堝鉗，密封圈 |
質保期 | 1年質保，終身維護 |
耗材 | 爐管，密封圈，熱電偶，加熱元件 |
設備標準尺寸
型號 | 爐管直徑 | 加熱區(qū)長度 | 額定功率 | 額定溫度 | 爐管 | 熱電偶 | 加熱元件 |
40mm | 300mm | 3 KW | 1200℃ 1400℃ 1700℃ | 石英管 剛玉管 | K型 S型 B型 | 高純含鉬電阻絲
硅碳棒 硅鉬棒 | |
60mm | 300mm | 3 KW | |||||
80mm | 300mm | 5 KW | |||||
100mm | 300mm | 5 KW | |||||
120mm | 300mm | 6 KW | |||||
40mm | 400mm | 3 KW | |||||
60mm | 400mm | 3 KW | |||||
80mm | 400mm | 5 KW | |||||
100mm | 400mm | 5 KW | |||||
120mm | 400mm | 6 KW |
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