微米級白光干涉儀

光學(xué)器件，例如各種光學(xué)鏡片和玻璃，屬于超精密加工的產(chǎn)物，因此其表面質(zhì)量等級很高。一般的非接觸式光學(xué)影像方法沒有辦法客服其高透明度，中圖儀器SuperViewW1微米級白光干涉儀為光學(xué)鏡片和玻璃的表面質(zhì)量檢測提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

SuperViewW1微米級白光干涉儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中；

可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品性能

縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關(guān)

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）

光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)

至大點(diǎn)數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）

臺階測量：準(zhǔn)確度≤0.3%，重復(fù)性≤0.08%1σ

應(yīng)用示例

【玻璃表面臺階檢測】

　　下圖為透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，需要測膜層的厚度，由于其非透明的特性，薄膜測厚儀無法進(jìn)行測量，而由于其膜層厚度精度在納米級別，接觸式的臺階儀和其它的非接觸式光學(xué)儀器也存在測量誤差較大的風(fēng)險，而以光學(xué)干涉原理為基礎(chǔ)研制成的中圖儀器白光干涉儀，以其亞納米級別的測量精度，則可對該膜層厚度進(jìn)行準(zhǔn)確測量。

對兩臺階高的檢測

上圖是利用軟件的自動面臺階高檢測功能對重建的3D圖像兩臺階高進(jìn)行檢測，從數(shù)值可知，兩臺階面平均高度差為82nm，而至大高度差90nm，至小高度差為78nm。

【玻璃屏檢測】

玻璃屏常見于我們?nèi)粘Ｋ玫闹悄墚a(chǎn)品中，例如智能手機(jī)、智能手表，還有平板電腦等，為了獲得更好的觸屏體驗，需要對玻璃屏的表面粗糙度和微觀輪廓進(jìn)行檢測。以手機(jī)玻璃屏為例，說明光學(xué)3D表面輪廓儀在其中的應(yīng)用： 

玻璃屏表面粗糙度檢測

如上圖，選取的測量區(qū)域發(fā)現(xiàn)了一條寬6um，深6nm的肉眼無法觀測到的劃痕，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。