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DM200-SE 桌面顯影機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 LEBO/雷博
- 型號(hào) DM200-SE
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2024/11/6 17:22:13
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 3443
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合 |
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桌面顯影機(jī)優(yōu)勢(shì)
1.全封閉式顯影,避免霧氣擴(kuò)散到外部,污染環(huán)境。
2.外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。
3.內(nèi)腔鍍特氟龍,光滑,耐腐蝕,易清洗。
4.內(nèi)置真空過(guò)濾器,防止液體吸入真空泵。
5.真空壓力可調(diào),壓力值實(shí)時(shí)顯示。
6.液體流量可調(diào),回吸可調(diào)。
桌面顯影機(jī)參數(shù)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)
1.轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM
2.旋涂速度:20-3000rpm(空載)
3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)
4.工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000sec/step,時(shí)間設(shè)置精度: 0.1sec
5.該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)(1路洗衣液,1路純水,1路氮?dú)?
6.單步工藝及多步工藝可選,內(nèi)置100組可編輯程序
7.可根據(jù)客戶(hù)需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。
設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動(dòng),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。