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PT3000 等離子清洗機(jī)

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真空等離子清洗機(jī)

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       江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器開發(fā)為目標(biāo)的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè)。2020年8月,江蘇雷博科儀通過資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來的的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)分拆出來成立了江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司。兩家公司使用同一品牌 ,獨(dú)立經(jīng)營不同系列產(chǎn)品。公司主營高檔實(shí)驗(yàn)室儀器及半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)業(yè)務(wù)。公司技術(shù)力量雄厚,人才濟(jì)濟(jì),憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力不斷進(jìn)行新產(chǎn)品開發(fā)和創(chuàng)新實(shí)現(xiàn),在納米薄膜制備類儀器領(lǐng)域取得了顯著的市場地位。公司生產(chǎn)的高精度高可靠性勻膠機(jī)榮獲江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品,是國內(nèi)勻膠機(jī)全系列、多功能、定制化服務(wù)的供應(yīng)商。
       公司生產(chǎn)和銷售不同領(lǐng)域的高檔科研儀器和工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、烤膠機(jī)、提拉機(jī)、噴膠機(jī)、涂膜機(jī)、狹縫涂布機(jī)等相關(guān)產(chǎn)品;LEBO science®是我們的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)等獨(dú)立柜式機(jī)臺及工業(yè)全自動機(jī)臺。
       公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機(jī)光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域,具有核心技術(shù)可靠、高性價比、定制化服務(wù)的競爭優(yōu)勢。 

       公司目前團(tuán)隊人數(shù)80多人,業(yè)績和規(guī)模處于快速擴(kuò)展期,2013年起年銷售額一直保持快速增長,目前正準(zhǔn)備二輪融資擴(kuò)產(chǎn)。公司生產(chǎn)廠房設(shè)有裝配潔凈車間及黃光試驗(yàn)區(qū),其中生產(chǎn)區(qū)域約1500平方米,辦公及倉儲區(qū)域約1000平方米。

勻膠機(jī),烤膠機(jī),涂膜機(jī),狹縫涂布機(jī),紫外清洗機(jī),電解雙噴儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,綜合

設(shè)備的優(yōu)點(diǎn):

1、采用射頻電源、自動匹配器,一鍵式操控。

2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。

3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。

4、可處理形狀復(fù)雜和微細(xì)結(jié)構(gòu)的材料。


設(shè)備的參數(shù):

腔體材質(zhì) :鋁合金

供電電源 : AC220V、1000W

濺射電壓:MAX 2500V

濺射電流:MAX 30mA

靶材尺寸:直徑57mm,厚度0.1~0.5mm

射頻電源功率: 0-300W可調(diào)

射頻頻率: 13.56MHz

真空度:≤100Pa

氣體路數(shù):2路

氣體流量:MFC氣體質(zhì)量流量計   500SCCM(可調(diào))

控制: 觸屏

清洗時間:1-6000s連續(xù)可調(diào)

處理尺寸:≤8寸

內(nèi)腔尺寸:226mm(長)*126mm(高)*224mm(深)

外形尺寸: 620mm*560mm*410mm(寬*深*高)

重量:≈38KG

真空泵:飛越ARV-4







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