化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>配件耗材>電源設(shè)備>其它電源設(shè)備>ADTEC TR-3000-EI2-MT ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz
ADTEC TR-3000-EI2-MT ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 ADTEC TR-3000-EI2-MT
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/11/23 10:40:07
- 訪問次數(shù) 447
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電源維修，二手電源設(shè)備銷售，直流電源，射頻電源，脈沖電源，自動網(wǎng)絡(luò)匹配器，遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器，分子泵離子泵，干泵冷泵
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | RF GENERATOR | 品牌 | ADTEC |
| 型號 | TR-3000-EI2-MT | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設(shè)備狀態(tài) | Refurblished |
ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 3000W RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的性能優(yōu)良、可靠性高的射頻發(fā)生器。電源整體采用了小巧緊湊的外形設(shè)計，減少了在機臺中的空間占用，大大降低了使用成本。ADTEC TR Series 射頻電源在半導(dǎo)體的濺射、CVD、蝕刻等制程中，有著十分廣泛的應(yīng)用。高性能的TR系列射頻電源在半導(dǎo)體薄膜工藝的應(yīng)用中射頻輸出控制精準(zhǔn)，穩(wěn)定可靠，有較快的成膜速度，可以有效的提高產(chǎn)線的效率，同時降低能源損耗，提高能源效益。
ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：ADTEC
設(shè)備型號：TR-3000-EI2-MT
AC電源輸入：3 phase~ ，AC200~240V，50/60Hz，5.3kVA
RF射頻輸出：3000W，13.56MHz
通訊接口：Remote Control，RS-485，EXT-In/Out
設(shè)備散熱：水冷散熱
水冷流速：4.0L/min（1.05gal/min）
水冷水壓：0.5MPa（MAX）
水冷水溫：10℃~35℃
Fitting：NPT 1/4（Female）
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