DAIHEN NX-HGA-30B1 DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W
- 公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DAIHEN NX-HGA-30B1
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/6/2 15:57:33
- 訪問次數(shù) 468
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供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 2L39-000042-42 |
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應用領域 | 電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
品牌 | DAIHEN | 型號 | NX-HGA-30B1 |
P/N | 2L39-000042-42 | 頻率 | 100MHz |
輸出功率 | 3000W | 設備狀態(tài) | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源,能夠實現(xiàn)對射頻輸出的精準控制,被廣泛應用于濺射、CVD、PECVD等半導體制程工藝中。DAIHEN NX-HGA系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力,成膜效果好、速度快,運用于半導體制程薄膜工藝中能夠提高成膜效率,一定程度上可以提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型高頻射頻電源堅實耐用,為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W參數(shù)規(guī)格
設備品牌:DAIHEN
設備型號:NX-HGA-30B1
AC 電源輸入:3 phase~ ,AC 180~242V,50/60Hz,24A
RF 射頻輸出:100MHz,3000W
通訊接口:Maintenance,Display,DeviceNet,DI/O I/F,Pulse Out
設備散熱:風冷+水冷散熱
水冷進水需求:MAX Torque 30N·m
設備重量:65kg
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